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不需要占用機房面積,布置很靈活的;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.造價低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;D.送風均勻度好。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。缺點:A.溫濕度控制較差;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.FFU的維修頻率高。4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點A、無塵車間潔凈度:LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在進行潔凈室凈化工程的平面布局時必須符合國家的現行規(guī)范中有關安全生產、消防、環(huán)保和職業(yè)衛(wèi)生方面的各種要求;在進行潔凈室凈化工程平面布局時應充分考慮物流的安排.盡力做到短捷、流暢。在空間設計時應分考慮產品生產過程和潔凈室凈化工程內各種管線、物流運輸的合理安排。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。在確定潔凈廠房的平面、空間布置后,對潔凈室凈化工程設計涉及的各個專業(yè)提出設計內容、技術要求及設計中應注意的相關問題。
為滿足凈化實驗室溫濕度要求,宜配備機械空調通風系統(tǒng),有特殊要求的可增設設計要求,如增設凈化要求并按凈化要求進行送回(排)風系統(tǒng)設計等。這方面,應重點處理好以下幾個問題:1、可以采用帶循環(huán)風的空調系統(tǒng)。如果涉及化學溶媒,性材料操作和動物實驗,則應采用全排風系統(tǒng)。2、生物安全柜與排風系統(tǒng)連接I級排風比例100%,密閉連接。潔凈室凈化工程設計是各專業(yè)設計技術的綜合,尤其是潔凈室凈化工程的工藝設計、潔凈建筑設計、空氣凈化設計和各種特殊要求的設計技術的密切協(xié)同、相耳滲透和合理安排的綜合設計。II級A型排風比例30%,可排到房間或設置局部排風罩。B1型排風比例70%,密閉連接。B2型排風比例100%,密閉連接。