十萬級凈化車間標(biāo)準：

1．塵粒大容許數(shù)（每立方米）；

2．大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得逾越3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得逾越20000個；

3．微生物大容許數(shù)；

4．浮游菌數(shù)不得逾越500個每立方米；

5．沉隆菌數(shù)不得逾越10個每培養(yǎng)皿。

6．壓差：一樣潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不一樣潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

3、車間環(huán)境監(jiān)測方法

　溫度、濕度的監(jiān)測方法。凈化車間溫度、濕度的監(jiān)測需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行，每天檢查2次，并且要監(jiān)測車間的每個區(qū)域。監(jiān)測時，要確保凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)正常運行30分鐘以上。如果在監(jiān)測過程中發(fā)現(xiàn)溫度、濕度超過標(biāo)準，要及時查明原因并進行調(diào)整。

　　第二，壓差的監(jiān)測方法。凈化車間壓差的監(jiān)測同樣需要由生產(chǎn)操作員執(zhí)行，每天檢查2次，并且需要做到動態(tài)監(jiān)測。另外，壓差的監(jiān)測同樣要保證車間空調(diào)系統(tǒng)正常運行30分鐘后進行。在進行壓差監(jiān)測時需要注意：測試時應(yīng)先關(guān)閉車間所有的門；2、為防止交叉污染，應(yīng)分別設(shè)置人員通道及物料運輸通道，人員通道應(yīng)按潔凈室通道要求嚴格執(zhí)行，各通道應(yīng)裝有空氣幕(即風(fēng)幕)或雙向彈簧門及電子滅蠅(蚊)器等防蟲設(shè)施。監(jiān)測期間任何人不得穿越車間；監(jiān)測時要等到微壓表示數(shù)穩(wěn)定后再讀數(shù)。

2、對溫濕度有嚴格要求

　　在電子生產(chǎn)中，過高或者過低的溫濕度都會對產(chǎn)品造成惡劣影響。例如；濕度過大，會導(dǎo)致電子元器件漏擊穿、材料老化；濕度過低又會導(dǎo)致塑料、絕緣材料干燥收縮、變形甚至龜裂。溫度過高會導(dǎo)致元器件膨脹，導(dǎo)致尺寸變化、位置偏移、機構(gòu)變形，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

　　3、對靜電有嚴格要求

　　在微電子器件生產(chǎn)過程中，各種因素產(chǎn)生的靜電電壓，往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍，導(dǎo)致電子設(shè)備出現(xiàn)故障，損壞設(shè)備內(nèi)部各元器件，引起設(shè)備誤動。靜電還會吸塵，容易積蓄灰塵，導(dǎo)致設(shè)備通風(fēng)散熱受到很大影響，導(dǎo)致機械零件出現(xiàn)嚴重磨損，從而影響設(shè)備的使用壽命。凈化無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求：箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，至大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜。