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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實,顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.
鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響:
本底真空度: 本底真空度越高爐內(nèi)雜氣量(包括水氣)越少,這保證鍍膜時反應(yīng)氣體的純度,從而保證膜層顏色的純正和光澤鮮亮。一般本底真空應(yīng)該進入5-7*10-3。
電子束蒸發(fā)源蒸鍍法
將蒸發(fā)材料放入水冷銅坩鍋中,直接利用電子束加熱,使蒸發(fā)材料氣化蒸發(fā)后凝結(jié)在基板表面成膜,是真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。電子束蒸發(fā)克服了一般電阻加熱蒸發(fā)的許多缺點,特別適合制作熔點薄膜材料和高純薄膜材料。
真空鍍膜:一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術(shù)用于生產(chǎn)激光唱片(光盤)上的鋁鍍膜和由掩膜在印刷電路板上鍍金屬膜。
反應(yīng)濺射就是在反應(yīng)氣體環(huán)境中鍍膜,濺射過程中靶材會與濺射氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。反應(yīng)濺射一般沉積不導(dǎo)電的膜層,例如:Snox,ZnOx,Siox,SiNx等。在反應(yīng)濺射系統(tǒng)中,一般都加入Ar加速反應(yīng)速度,即提高濺射速率。在反應(yīng)濺射氣氛中,加入工作氣體越多,濺射速率越高,當(dāng)加入的工作氣體過多時,反應(yīng)氣體來不急將所有濺射出來的原子反應(yīng)掉,膜層內(nèi)就會含有金屬,我們把這種狀態(tài)叫翻轉(zhuǎn)。在反應(yīng)濺射過程中,無論翻轉(zhuǎn)與正常狀態(tài),靶的濺射速率都沒有不反應(yīng)濺射速率高。因此不反應(yīng)濺射所使用的氣體為惰性氣體,一般使用y氣(Ar),稱為工作氣體。