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汽車產(chǎn)品
1、密封件
2、O型圈
3、墊片
4、燃料電池
5、電子產(chǎn)品
6、傳感器
7、輪胎壓力監(jiān)控
8、發(fā)光二極管
作用:抗高溫、抗碳?xì)浠衔?、抗腐蝕性氣體和濕度
自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器、用很薄的Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性。
橡膠/硅樹脂
1、密封件、O型圈、墊片
2、彈性體元件
3、塞子和柱塞
作用:干式潤滑,隔離,不互相沾黏、不沾纖維和污垢,無印記,無表面損傷。Parylene能夠保護(hù)產(chǎn)品免受油、污垢、溶劑、酸液的影響。
無論監(jiān)控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍?cè)O(shè)備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對(duì)真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響較小。
Parylene是美國Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料,由獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備,能涂敷到各種形狀的表面,號(hào)稱“無孔不入”,被業(yè)內(nèi)稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。Parylene可分為N型、C型、D型、F型、HT型等多種類型
現(xiàn)在,系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低,而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺鍍膜機(jī)射、MBE分子束外延鍍膜機(jī)和PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī)等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。