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如何保證電子氣體的安全儲存
如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作,系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計,在眾多的國際標準規(guī)范如,等都有很詳細的規(guī)定,目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規(guī)范。通常而言,會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性,將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對輸送系統(tǒng),特別是系統(tǒng),因總量較大,應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng),需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
使用電子氣體的工廠抽風系統(tǒng),也根據(jù)危險品性質(zhì)分成了普通排風系統(tǒng)(,酸性排風系統(tǒng)(,溶劑排風系統(tǒng)(和氨氣排風系統(tǒng)(。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接,經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應(yīng)性和自燃氣體,應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等,安全輸送系統(tǒng)(正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)(是全廠生命安全系統(tǒng)(的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應(yīng)迅速外,還應(yīng)具備自檢功能。
標準氣體在流量計配置中的作用
標準氣體這個名詞相信很多人都是初次聽說,當然,在小編沒有接觸到這個行業(yè)以前也是和大多數(shù)人一樣的,對此一無所知。但是,沒關(guān)系!所謂“聞道有先后,術(shù)業(yè)有專攻”嘛,今天小編就帶大家來了解下,至于標準氣體這個名詞的含義呢,小編在這里就不多說了,大家可以直接去百度百科查看閱讀,今天小編主要跟大家講解下標準氣體對渦街流量計傳感器的準確度的調(diào)試過程中的主要一些作用和應(yīng)用。
按照標準氣體行業(yè)標準,標準氣體渦街流量計傳感器的準確度一般都在0.5級~1.5級的水平上,是無法作為0.5級標準傳感器來使用的,當只使用標準氣體流量傳感器檢定曲線上的一個有限段時。標準流量計標定的準確度可以得到一定的提高。同樣用以檢定被檢流量計的準確度也可以得到提高。在這一有限測量范圍內(nèi)儀表系數(shù)K的相對誤差將會小于儀表系數(shù)的全量程的誤差。
試驗結(jié)果表明若量程比為2:1或3:1,在定點標定時能滿足要求,因此,使用該傳感器標準,建立氣體流量裝置是可行的。
高純管道在高純氣體輸送中的意義
常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K _* u, A& ~
電子行業(yè)中常見氣體的分類:/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O
普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
氦氣和其它氣體不一樣,氦氣化學性質(zhì)非常穩(wěn)定,和其它有各種化合物的氣體不一樣。氫氣、氮氣等氣體可以在實驗室中通過化合物之間的反應(yīng)來獲取純氣,但是氦氣沒有化合物也就無法有所謂的實驗室制氦氣的方法。那么工業(yè)制氦氣可行么?其實嚴格說來工業(yè)制氦氣也是不行的,通常所說的工業(yè)制氦氣指的是粗氦的提純而不是制造。
現(xiàn)有的氦氣都是混雜在然氣中,工業(yè)制氦氣也只是利用各種方法手段將氦氣從其中提取出來,再通過液化分餾等手段進一步提純獲得更高純度的氦氣,例如超純氦氣、5N氦氣等。理論上只要然氣中氦氣的含量超過0.5%就可以進行分離,實現(xiàn)大規(guī)模的商業(yè)開發(fā)。