特種氣體：氦氣

氦氣具有化學惰性，常被用做半導體工業(yè)的保護氣和科學實驗中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學反應。目前，保護氣已成為氦氣的第二大應用領域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運送被測氣體且不與其發(fā)生反應。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題，對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運行的管道，有明顯的檢測效果。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

輔助系統(tǒng)的設計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收。

GMS和GDS系統(tǒng)

氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS)通過計算機網(wǎng)絡，實現(xiàn)對氣體輸送系統(tǒng)的實時監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

氣體偵測系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。對于這兩個系統(tǒng)在這里只能做一個概念性的介紹。

后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們設計的重點，這樣可顯著降低整個系統(tǒng)的成本。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴格按照操作規(guī)程運行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲存應與滅菌生產(chǎn)隔離開來，應設有防爆墻，儲存室陰涼、通風、防曬，有易1燃、易1爆、有毒標志，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設備及其他可發(fā)生火花的設備或操作