質(zhì)譜檢漏儀儀器的小可檢漏率

當(dāng)儀器處于佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣作示漏氣體進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢出的的漏孔漏率，稱為儀器可檢漏率，用Qmin表示。

（1）所謂佳工作條件，是指被檢件出氣和漏氣都小，它與檢漏儀連接后不會(huì)影響檢漏儀質(zhì)譜室的正常工作，因此不需加輔助泵。同時(shí)，檢漏儀的參量也調(diào)整在佳工作狀態(tài)，這時(shí)檢漏儀能發(fā)揮其性能。

（2）所謂動(dòng)態(tài)檢漏，是指檢漏時(shí)，檢漏儀的真空系統(tǒng)仍在對(duì)質(zhì)譜室進(jìn)行抽氣，且儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s的情況。

（3）所謂小可檢，是指檢漏儀輸出儀表上可以觀察出來(lái)的微小的指示變化，即小可檢信號(hào)。這個(gè)小可檢信號(hào)主要受無(wú)規(guī)律起伏變化的儀器的本底噪聲和漂移所限制。本底噪聲是由于儀器各參數(shù)的不穩(wěn)定引起的，例臺(tái)電源電壓變化、真空度變化、發(fā)射電流變化、加速電壓變化、放大倍數(shù)變化、外界電磁場(chǎng)干擾等都會(huì)引起輸出儀表的不穩(wěn)定擺動(dòng)。漂移被認(rèn)為是由于電子學(xué)上的原因引起的。如果漏入的氦氣產(chǎn)生的輸出指示的變化小于噪聲和漂移之和，就很難判斷究竟是漏氣信號(hào)還是噪聲和漂移指示，因而噪聲和漂移值也就成為能否判斷出漏氣信號(hào)的關(guān)鍵值。

氦質(zhì)譜檢漏儀，氣密性檢測(cè)儀的選擇

氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

用于電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

小可檢漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率顯圍: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

啟動(dòng)時(shí)間: ≤5min

響應(yīng)時(shí)間: <2S

檢漏口高壓力: 300Pa

極限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

近年來(lái)由于電子工業(yè)的發(fā)展，空間探索活動(dòng)的增加，檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展，它的重要標(biāo)志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進(jìn)入了各個(gè)適用的領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測(cè)靈敏度高、速度快，可進(jìn)行定性、定量、的檢測(cè)特別是選擇無(wú)破壞性、無(wú)毒，無(wú)危險(xiǎn)的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當(dāng)中的。

在許多科學(xué)領(lǐng)域和制造業(yè)中，氦質(zhì)譜檢漏儀已成為控制和監(jiān)督產(chǎn)品質(zhì)量的裝備。尤其近幾年來(lái)，電工電子產(chǎn)品的監(jiān)督檢驗(yàn)部門和生產(chǎn)廠家，制冷、汽車、航空、航天等行業(yè)強(qiáng)化“以質(zhì)量求生存”的意識(shí)，他們?cè)趯⒑べ|(zhì)譜檢漏儀用于生產(chǎn)線和科研應(yīng)用的同時(shí)，不斷探索其在本行業(yè)的應(yīng)用開發(fā)并積累了很多經(jīng)驗(yàn)。