由于空氣中氦氣，氦質(zhì)譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測出極為弱小的訊號，從而檢出的漏孔；由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質(zhì)量輕，擴散快，穿透性強，響應快且穩(wěn)定，加之不起化學作用，不污染工件，操作安全等特點，導致使用氦質(zhì)譜檢漏儀技術（簡稱氦檢技術）日益受到重視而被廣泛應用在空調(diào)兩器生產(chǎn)上。

檢漏技術的發(fā)展

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標。如何快速地找到漏點，關系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。

檢漏技術是一門不斷發(fā)展、不斷完善的技術，多年來，人們創(chuàng)造了很多檢漏方法。

上世紀四十年代以前的技術非常簡單，比如氣泡法、電離計法等。當時，漏率高只能檢測到10^-7Pa·m^3/s。

后來，經(jīng)過不斷的完善與提高，在1950~1960年代，研制者朝著提高靈敏度的方向努力，使靈敏度一度達到了10^-15Pa·m^3/s。

然而實踐證明，單一追求高靈敏度并非合適，這會給檢漏儀的生產(chǎn)制造帶來一些麻煩。后來，人們將精力主要放在了儀器的穩(wěn)定性、可靠性、小型化、簡單化、檢漏過程迅速化上面。

當今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。較為先進的檢漏儀壓力在幾萬Pa就可檢漏。便攜式的檢漏儀，一個人就可以搬運。甚至有些檢漏儀已經(jīng)可以通過手機APP遠程控制檢測。

這些技術上的進步，使檢漏工作的效率和便利性得到很大提升，應用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為檢漏技術中的主要方法。

不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算

中真空領域的抽氣時間計算

這里所指的中真空領域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài)，不能單純地像低真空或下面講的高真空那樣簡單地計算。一般情況下，通過兩種方式分別計算抽氣時間，然后取計算值較大的結果。

真空抽氣要考慮的要素：

(1)到達真空度；

(2)抽氣速度；

(3)導通率；

(4)實際抽氣速度；

(5)氣體放出率；

(6)漏率。

用真空泵對真空腔體抽氣時，初腔體內(nèi)的壓強迅速降低，但是經(jīng)過一段時間后壓強下降變緩，并且趨于一個恒定值。導致這種現(xiàn)象的主要原因是材料的表面放氣。如下圖壓強和抽氣時間的關系。壓強變化的不同領域，分別稱之為空間抽氣和表面抽氣。為了進一步提高真空度，通常采用的對策如下：

（1）選擇表面放出氣體少的材料；

（2）通過電解拋光等手段，減小材料表面積，繼而減少氣體分子的吸附；

（3）對腔體進行烘烤，促進表面吸附氣體的放出。

高真空-超高真空領域的抽氣時間計算

這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領域不同。

p(t)———到達壓強；

Se———實際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

p0———初期壓強。

氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據(jù)當時的放氣量來求得到達的真空度。如果計算結果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據(jù)新假設時間的氣體放出量再次計算。不斷重復，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。

高真空領域的抽氣時間計算遠比低真空領域復雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。

真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數(shù)量級。內(nèi)部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側面開一個出氣孔。因此，內(nèi)部構造越復雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設計上就更需要經(jīng)驗。