氦質(zhì)譜檢漏方法分析

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想方法。氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于：①氦是惰性氣體，對大氣無污染，使用安全；②氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過可能存在的漏隙。③氦氣在大氣中含量?。?ppm），不易受干擾。④氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高，速度快，適用范圍廣；

目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀小可檢漏率可達(dá)到5.0×10-12 Pa·m3/s，如北京中科科儀生產(chǎn)的542檢漏儀。國外檢漏儀小可檢漏率高可達(dá)到5.0×10-13Pa·m3/s，如德國Inficon，法國阿爾卡特等。

目前，國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。后續(xù)將著重介紹真空箱法檢漏在空調(diào)兩器檢測方面的應(yīng)用。

目前氦檢技術(shù)在空調(diào)兩器生產(chǎn)中的應(yīng)用情況

由于氦質(zhì)譜檢漏儀具有靈敏度高、反應(yīng)快、度高、準(zhǔn)確定位、安全等優(yōu)勢，其它水檢等檢漏方法已逐步被取代。目前空調(diào)器生產(chǎn)用氦氣做示蹤氣體的氦檢漏方法包括吸法和真空箱檢漏法。

吸氦檢法是在工件內(nèi)充入氦氣，用氦質(zhì)譜檢漏儀的吸嘴在待檢工件表面掃描，吸吸入的氣體經(jīng)節(jié)流后流入檢漏儀質(zhì)譜室，根據(jù)檢出的氦氣分壓強(qiáng)的大小來判斷漏孔的有無和大小。這種方法具有較高的精度。但它也有其明顯的不足之處。①需要逐步檢漏漏點(diǎn)，而空調(diào)器的焊點(diǎn)多達(dá)幾百處，所以單獨(dú)使用效率低；②吸法的精度與多種因素有關(guān)，如果吸與漏孔距離大于10mm時，所檢漏率只有實(shí)際漏率的3~5%，如果吸的移動速度達(dá)到16mm/s，靈敏度將降到30%。由此可見，操作不當(dāng)極易產(chǎn)生漏檢；③吸法只能測單個漏點(diǎn)是否超標(biāo)，而不能判斷整體漏率情況。因以上幾點(diǎn)不足，實(shí)際生產(chǎn)中，吸法一般配合真空箱法使用，當(dāng)真空箱法檢出不合格工件時，用吸法來找出不合格件的漏點(diǎn)所在。真空箱法是將充有氦氣的工件放入箱內(nèi)，然后對箱內(nèi)抽真空，用氦質(zhì)譜檢漏儀探測真空箱內(nèi)的氦氣質(zhì)量，推算出工件的實(shí)際氦漏率，該方法檢漏便于迅速判斷工件有無泄漏，可以稱為“把關(guān)式”檢漏法。在正常情況下，可以保證不漏檢，真空箱設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀精度可以達(dá)到10-12Pa.m3.s-1(He)。實(shí)際生產(chǎn)中，由于考慮生產(chǎn)節(jié)拍（20~30秒），一般可以檢漏率為4X10-7Pa.m3.s-1。相當(dāng)于0.5g/年（R22的漏率），完全滿足家用空調(diào)器的檢漏需要。真空箱氦檢法的缺點(diǎn)是不能發(fā)現(xiàn)工件的具體漏點(diǎn)，所以需增加吸法來找出不合格件的具體漏點(diǎn)。

真空箱檢漏法。

采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進(jìn)入真空密封室，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜，需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏，或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等