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光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;GMP車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
對(duì)于潔凈車間裝修施工的專業(yè)人員都知道,在對(duì)食品車間凈化工程施工時(shí)要注意很多事項(xiàng),比如保溫層外表面應(yīng)平整、密封、無脹裂和松弛現(xiàn)象;保護(hù)殼的外表面應(yīng)光滑不積塵,便于擦拭,接縫必須密封;保溫施工時(shí)不得在風(fēng)管壁上開孔和上螺釘,不得破壞系統(tǒng)的密閉性等。這些或許對(duì)于潔凈車間的使用者來說并不需要知道,但是使用者一定要知道食品行業(yè)潔凈車間日常維護(hù)注意事項(xiàng),這樣才能更好的發(fā)揮出潔凈車間的“性能”。
食品行業(yè)潔凈車間日常維護(hù)注意事項(xiàng):
1、注意潔凈室周圍的環(huán)境衛(wèi)生,防止粉塵等物質(zhì)產(chǎn)生;
2、注意檢查初、中效的壓差,當(dāng)其壓差大于初始?jí)翰畹?倍時(shí)應(yīng)對(duì)濾布進(jìn)行清洗;
3、初、中濾布清洗時(shí),不用洗衣粉,選擇清洗劑。
潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境只來那個(gè)的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。
對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。