六氟化硫制備：

以長約300mm直徑25mm的鎳管為反應器，將盛有硫粉的鎳舟置于其中，反應管與一石英阱連接，石英阱以液態(tài)氧冷卻。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連，以隔離空氣中的濕氣。硫在氟氣流中燃燒，生成的產物凝聚在冷阱中。隨后進行純化，使產物氣化并通過10%的KOH熱溶液（不用NaOH）洗滌除去其中的雜質（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用P4O10干燥產物氣體，并在室溫下通過活性炭除去S2F10。由于技術問題等原因，有些SF6氣體產品的純度不達標，出廠時就會帶有一些有害雜質。

充裝六氟化硫氣體嚴禁水分進入

（1）工作未開始之前，首先應測定現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣相對濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數(shù)。測定如不合格，則應采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。

 （2）為使SF6泄漏氣體及時排換，主尖在進行充裝的同時開啟通風機，認真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。在工作開始后的一定時間內即應進行檢測，并具體情況于中途再進行檢側。當出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標準時，應隨即對部件進行詳細檢查，查找原因并予以消除。目前六氟化硫是應用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑，示蹤距離可達100km。

為什么六氟化硫氣體純度不純了？

 （1）六氟化硫氣體純度不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。大家知道，目前化工行業(yè)制造六氟化硫氣體的方法主要是采用單質硫磺與過量氣態(tài)氟直接化合反應而成；即S 3F2→SF6 Q（放出熱量） 。在合成的粗品中含有多種雜質，其雜質的組成和含量因原材料的純 度、生產設備的材質、工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質總含量可達5%。其組成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；當出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標準時，應隨即對部件進行詳細檢查，查找原因并予以消除。硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中帶入的雜質如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。為了凈化粗品中的雜質，合成后的 SF6氣體還需要經過水洗、堿洗、熱解（去除劇i毒的十氟化物） 、干燥、吸附、冷凍、蒸餾提純等一系列凈化處理過程才能得到純度在99.8%以上的產品。然后再用壓縮機加壓，充入降溫至 -80℃左 右的鋼瓶中，以液態(tài)形式存在。在使用時減壓放出，呈氣態(tài)沖入電氣設備中。

 除在上面的合成過程中產生的雜質外，另外， 在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會產生一定的毒性物質。因此，為保證六氟化硫的純度和質量，對出廠的六氟化硫國際電工委i員會（IEC）及許多國家均制定了質量標準，并要求生產廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書。聯(lián)產法氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產。

六氟化硫氣體泄漏檢測技術

 SF6氣體泄漏檢測主要采用了電化學技術、電i擊穿技術和紅外光譜吸收技術。

 1、電化學技術：電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。

 2、電i擊穿技術：電i擊穿技術是從SF6氣體在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。

 3、紅外光譜吸收技術：紅外光譜吸收技術(又稱激光技術）的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。