真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動(dòng)機(jī)理

  理論研究和試驗(yàn)表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動(dòng)特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識(shí)別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對(duì)下降，同時(shí)有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠(yuǎn)大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識(shí)別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆?，同時(shí)局部會(huì)有溫升，因此工藝參數(shù)對(duì)轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。我們擁有20余年的經(jīng)驗(yàn)，已在全球安裝了100000多臺(tái)Drystar泵。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng)。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長(zhǎng)維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。5Torr的壓力范圍下、需要超過(guò)3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。愛德華U19真空泵油減小和減少運(yùn)動(dòng)面之間的摩擦、磨損，延長(zhǎng)零部件的使用壽命,同時(shí)真空泵油能迅速將油液中夾帶的水分分離出來(lái)，達(dá)到所需的真空度。

愛德華70#真空泵油應(yīng)用：

   真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等使用，亦可用于各種擴(kuò)散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學(xué)等領(lǐng)域的真空泵使用。

供應(yīng)英國(guó)愛德華19號(hào)真空泵油，質(zhì)量保證規(guī)格4L /208L現(xiàn)貨，愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號(hào)選用油號(hào)對(duì)用，因?yàn)檎婵毡糜驼扯炔灰粯印?

認(rèn)為真空泵機(jī)組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機(jī)組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。據(jù)此臨時(shí)采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，先啟動(dòng)密封水泵運(yùn)行5min，然后再啟動(dòng)真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時(shí)將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運(yùn)行過(guò)程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。泵和附件可以作為單個(gè)部件提供，也可以作為完整系統(tǒng)化、經(jīng)過(guò)出廠測(cè)試的組合提供。