空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質，美國太空總署特別使用專用專用吸塵器清除貨倉內的微細粉塵。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

    無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經濟性效果。5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0。

   無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質；

　　采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產車間所要求的生產潔凈環(huán)境。