Parylene裂解儀

Parylene用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長(zhǎng)'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號(hào)稱'無(wú)孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界的防潮、防霉（零級(jí)）、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。ZF500有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等，半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護(hù)性能基礎(chǔ)上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤(rùn)滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機(jī)械性能。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設(shè)有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開(kāi)閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進(jìn)行自動(dòng)或半自動(dòng)(溫控/真空)操作,并可儲(chǔ)存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機(jī)，溫度 ≦ -90℃

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雙靶磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、此款鍍膜儀配置有兩個(gè)靶槍：一個(gè)靶槍配套的是射頻電源，用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜；一個(gè)靶槍配套的是直流電源，用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜

2、該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應(yīng)用非常廣泛。

3、該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。