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中頻磁控 多弧離子濺射鍍膜機(jī)特點(diǎn)
中頻磁控 多弧離子濺射鍍膜機(jī)具有:結(jié)構(gòu)合理、膜層均勻、成膜質(zhì)量好、抽速大、工作周期短、生產(chǎn)、操作方便、能耗低性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于切削刀具如齒輪滾刀,插刀,銑刀,鉆頭等表面沉積超硬涂層,也可用于鐘表,眼鏡架,手機(jī)殼、鎖具,潔具等各類小五金表面沉積裝飾涂層,本設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用沉積多種膜層,膜層細(xì)膩,有純鈦(Ti)氮化鈦(TiN)氧化鈦(TiO)純鋯(Zr)氮化鋯(ZrN)碳化鈦(TiC)純鉻(Cr)氮化鉻(CrN)碳氮化鈦(TiCN)氮化鋁鈦(TiAlN),PVD鍍膜膜層目前常見的顏色主要有:深金黃色,淺金黃色,咖啡色,古銅色,灰色,黑色,灰黑色,七彩色,藍(lán)色等。亮度好,飽滿度好
至成真空科技可以根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)各種規(guī)格型號(hào)的真空鍍膜機(jī)。真空機(jī)組及電控系統(tǒng)也可根據(jù)用戶要求進(jìn)行設(shè)計(jì)配置。
真空鍍膜設(shè)備離子鍍的類型及特點(diǎn)是怎樣的?
真空鍍膜機(jī)離子鍍技術(shù)市場使用占比率非常高,鍍餐具,鍍家居,鍍飾品等都離不開離子鍍膜技術(shù),離子鍍膜技術(shù)不僅僅在國內(nèi)受追捧,國外也是一樣受喜愛。那么,真空鍍膜設(shè)備離子鍍的類型及特點(diǎn)是怎樣的?下面至成小編為大家詳細(xì)介紹一下:
離子鍍是結(jié)合真空蒸鍍和濺射鍍兩種技術(shù)而發(fā)展起來的沉積技術(shù)。在真空條件下,采用適當(dāng)?shù)姆绞绞瑰兡げ牧险舭l(fā),利用氣體放電使工作氣體和被蒸發(fā)物質(zhì)部分電離,在氣體離子和被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物在基體上沉積成膜。離子鍍的基本過程包括鍍膜材料的蒸發(fā)、離子化、離子加速、離子轟擊工件表面成膜。根據(jù)鍍膜材料不同的蒸發(fā)方式和氣體的離化方式,構(gòu)成了不同類型的離子鍍,下表是幾種主要的離子鍍。離子鍍具有鍍層與基體附著性能好、繞射性能好、可鍍材質(zhì)廣、沉積速率快等優(yōu)點(diǎn)。
光學(xué)真空鍍膜機(jī)薄膜根據(jù)其用途分類、特性與應(yīng)用可分為哪些膜
光學(xué)真空鍍膜機(jī)薄膜根據(jù)其用途分類、特性與應(yīng)用可分為:反射膜、增透膜/減反射膜、濾光片、偏光片/偏光膜、補(bǔ)償膜/相位差板、配向膜、擴(kuò)散膜/片、增亮膜/棱鏡片/聚光片、遮光膜/黑白膠等。相關(guān)衍生的種類有光學(xué)級保護(hù)膜、窗膜等。
光學(xué)真空鍍膜機(jī)光學(xué)薄膜的特點(diǎn)是:表面光滑,膜層之間的界面呈幾何分割;膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變,但在膜層內(nèi)是連續(xù)的;可以是透明介質(zhì),也可以是吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。實(shí)際應(yīng)用的薄膜要比理想薄膜復(fù)雜得多。這是因?yàn)椋褐苽鋾r(shí),薄膜的光學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料,起表面和界面是粗糙的,從而導(dǎo)致光束的漫反射;膜層之間的相互滲透形成擴(kuò)散界面;由于膜層的生長、結(jié)構(gòu)、應(yīng)力等原因,形成了薄膜的各種向異性;膜層具有復(fù)雜的時(shí)間效應(yīng)。
光學(xué)鍍膜技術(shù)在過去幾十年實(shí)現(xiàn)了飛快的發(fā)展,從舟蒸發(fā)、電子束熱蒸發(fā)及其離子束輔助沉積技術(shù)發(fā)展到離子束濺射和磁控濺射技術(shù)。近年來在這些沉積技術(shù)和裝備領(lǐng)域的主要技術(shù)有以下三點(diǎn):
一、漸變折射率結(jié)構(gòu)薄膜技術(shù)與裝備:
漸變折射率結(jié)構(gòu)薄膜技術(shù)與裝備:已經(jīng)有大量研究工作已經(jīng)證實(shí)Rugate無界面型薄膜結(jié)構(gòu)和準(zhǔn)Rugate多種折射率薄膜結(jié)構(gòu)通過加強(qiáng)調(diào)制折射率在薄膜厚度方向上分布,能設(shè)計(jì)出非常復(fù)雜的光譜性能,(部分)消除
了薄膜界面特征,(部分)消除界面效應(yīng),如電磁波在界面上比薄膜內(nèi)部更高密度的吸收中心和散射,也可以增加了薄膜力學(xué)穩(wěn)定性。
二、磁控濺射光學(xué)鍍膜系統(tǒng)
以LeyboldHelios和ShincronRAS為代表,磁控濺射技術(shù)及裝備在精密光學(xué)領(lǐng)域和消費(fèi)光電子薄膜領(lǐng)域占據(jù)越來越大的份額。磁控濺射薄膜沉積過程控制簡單,粒子能量高,獲得的薄膜結(jié)構(gòu)致密穩(wěn)定。
三、間歇式直接光控:
間歇式直接光控:以LeyboldOptics公司的OMS5000系統(tǒng)為代表,光學(xué)鍍膜過程中越來越多地使用間歇式信號(hào)采集系統(tǒng),對鍍膜過程產(chǎn)品片實(shí)現(xiàn)直接監(jiān)控。相對于間接光控和晶控系統(tǒng),間歇式直接光控系統(tǒng)有利于降低實(shí)際產(chǎn)品上的薄膜厚度分布誤差,可以進(jìn)一步提高產(chǎn)品良率并減少了工藝調(diào)試時(shí)間。