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臺灣化學氣相沉積加工承諾守信「拉奇納米」

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發(fā)布時間:2021-03-20 23:53  






Parylene涂層是在室溫下在元件上自發(fā)形成的,不需要經(jīng)升溫固化過程,不需要對基材施加室溫以上的溫度和更多的時間來讓膜生長。由于這種聚合是自發(fā)的不需要催化劑。促進聚合的催化劑通常是離子或離子化合物,固化后它們會多少殘留一些在涂層里。這些殘留的物質(zhì)能參與電荷的遷移,在一定程度上影響涂層的電性能。又由于Parylene涂層是在室溫下形成的,因此可以防止主要因室溫和固化溫度變化不同由熱膨脹引起的應(yīng)力問題。



杰出的絕緣性能

除了這些內(nèi)在的性質(zhì)以外Parylene類涂層有優(yōu)異的電性能,它有優(yōu)異的介電性能--低的介質(zhì)損耗和高的介電強度,同時它還具有優(yōu)良的機械性能,有高的機械強度和低的摩擦系數(shù),這二者的結(jié)合使Parylene成為對小型繞線傷害元件能適用的絕緣層。



Parylene在磁芯上的應(yīng)用     

Parylene真空涂敷技術(shù)有優(yōu)異的電性能,介電性能和低的介質(zhì)損耗及高的介電強度。同時它還具有優(yōu)良的機械性能,高的機械強度和低的摩擦系數(shù),它不僅能提供絕緣而且也能消除摩擦引起的繞線時對線的損傷。

Parylene涂層較薄且厚度均勻使繞線器件能保持大的繞線窗,并在棱角處有足夠的涂層厚度,使性能參數(shù)極大的提高。明顯優(yōu)于刷涂,浸涂,噴涂等其它涂敷技術(shù)。它的先進性主要是氣相單體直接形成固體涂層而沒有液態(tài)的過程。涂層是從基材的表面向外?生長?,形成一個均勻厚度涂層,在1微米以下時也是無的。又由于Parylene涂層是在室溫下形成的,因此可以防止固化時由熱膨脹引起的應(yīng)力問題。




蒸發(fā)源有三種類型。

①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

②高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì)。

③電子束加熱源:適用于蒸發(fā)溫度較高(不低于2000[618-1])的材料,即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。

蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比,具有較高的沉積速率,可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。




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