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無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。
在設(shè)計電子潔凈室的同時,要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局,所有建筑物都必須具有適當?shù)撵`活性,整個區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計中,必須通過攻擊來控制整個房間的高度。即使如此,它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計電子清潔廠房時,應根據(jù)整個廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進行設(shè)置,或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。
凈化手術(shù)室由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標。由于歐美手術(shù)室潔凈標準與中國環(huán)境存在細微差別,常規(guī)的國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準都普遍難于確保手術(shù)室凈化的長期穩(wěn)定(一般只能3-10年重建、低檔工程1年即需要翻新),所以在工程質(zhì)量方面出現(xiàn)了明顯的檔次劃分。應遠離廁所、污水區(qū)、牲,圈等污穢(wū huì)場所。
室內(nèi)溫度(temperature)
手術(shù)室沮度以保持在25℃左右為宜。冬季寒冷.安裝火護取吸時.應裝有煙囪,遵免煙,在室內(nèi)。如用炭盆取吸,應先于室外充分燃燒.然后再移入室內(nèi),以免煤炭煙和塵和一氧(Oxygen)化(oxidation)碳(C)充滿房間。
洗手
用水用流水洗手法。在準備室內(nèi)設(shè)一高架,上置一較大的水捅,水桶上可安裝水龍頭,在水龍頭開關(guān)柄(bǐng)上,安裝一木制長柄(bǐng),以便用上臂或頭撥動開關(guān)。洗手水如果是河水、并水,應先加適量(視水捅大?。┢咨刍蛎鞯\攪動注清后,再將水倒入術(shù)前洗手用的水捅內(nèi)。