【廣告】
設(shè)計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復(fù),、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產(chǎn)品工序要求的用室外,還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下,與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。
對不同潔凈度等級的潔凈室,產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應(yīng)單獨設(shè)局部排風系統(tǒng)。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間凈化工程在設(shè)計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。