高溫爐操作規(guī)程

1 準(zhǔn)備工作a,檢查電源線接觸是否良好b,檢查連接線是否正常c,檢查冷卻水是否正常d,檢查密封性是否正常e, 準(zhǔn)備所需工具：無(wú)塵紙、無(wú)水酒精、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車(chē)、不銹鋼托盤(pán)2 開(kāi)爐a,打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)b, 向爐體充ya氣至大氣壓，打開(kāi)爐體前門(mén)，取下石墨蓋板c, 將輸送車(chē)開(kāi)關(guān)打至 OUTd, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物3裝料a,將石墨坩堝放置于輸送車(chē)平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。b、拔出限位桿，輸送車(chē)開(kāi)關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車(chē)會(huì)到初始位置。c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門(mén)4 抽氣a、檢查爐門(mén)是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開(kāi)干式真空泵，打開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān) P1G1，打開(kāi)干式真空泵 。閥門(mén)，開(kāi)始抽氣測(cè)試泄漏率，c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(mén)（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開(kāi)ya氣閥門(mén)充ya氣（20L/min）。上海韻通測(cè)試儀器有限公司是研制、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)氣氛爐、高溫爐、管式爐、真空爐、特種爐的專(zhuān)業(yè)廠家。加熱 先打開(kāi)水環(huán)泵 再按 RUN，開(kāi)始工藝加熱。冷卻a、加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻。

高溫爐采用1500陶瓷纖維板，硅碳棒上下水平加熱。 爐殼采用雙層結(jié)構(gòu)，可將外界溫度降至常溫，使內(nèi)腔溫度分布均勻。 輸入線路在電爐背面有一個(gè)特殊的安全接線盒。 電源開(kāi)關(guān)位于電爐的右側(cè)。 它易于操作。 電氣面板上有可編程控制儀表（40段程序）（日本島表），電流表，旋鈕開(kāi)關(guān)，聲音報(bào)警。 電氣部分采用與爐體一體的結(jié)構(gòu)，整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小。電氣面板上有可編程控制儀表（40段程序）（日本島表），電流表，旋鈕開(kāi)關(guān)，聲音報(bào)警。 溫度控制裝置安裝在爐體的側(cè)板上。 觀察直觀且易于調(diào)整。 溫度控制器具有專(zhuān)家PID調(diào)節(jié)功能，可自動(dòng)跟蹤和設(shè)置PID值。 測(cè)量索引密碼可以任意設(shè)定，補(bǔ)償功能可以用來(lái)制作爐子。 溫度與顯示值一致。

高溫爐洗爐步驟： 1.使用保護(hù)氣體驅(qū)除爐內(nèi)空氣： （1）在電爐預(yù)熱之前，一般應(yīng)將保護(hù)氣體引入爐內(nèi); （2）保護(hù)氣體可以通過(guò)上，下和后洗滌爐口。 排氣口的針閥應(yīng)打開(kāi)大尺寸，以便盡快的排出爐內(nèi)空氣; （3）通常，將約10倍體積爐的保護(hù)氣體引入爐內(nèi)，使?fàn)t內(nèi)的氧濃度降至約10ppm; （4）當(dāng)爐內(nèi)氧氣濃度滿(mǎn)足產(chǎn)品工藝要求時(shí)，可關(guān)閉排氣口針閥，節(jié)約保護(hù)氣體，關(guān)閉爐口，進(jìn)氣口用于通過(guò)流量計(jì)進(jìn)入 ; （5）在使用電爐的過(guò)程中，須在爐內(nèi)保持正壓，以防止外部空氣進(jìn)入爐內(nèi)。在受控高溫爐的受控氣氛中，電熱元件應(yīng)提供高滲碳材料或抗?jié)B碳涂層，低壓電源應(yīng)盡量避免引起滲碳短路損壞或爐壁碳沉積。

 2.真空泵預(yù)真空方式： （1）將任何一個(gè)出風(fēng)口連接到真空軟管; （2）預(yù)先清空爐腔; （3）獲得保護(hù)氣體; （4）對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)真空。