石英加速度計(jì)工作原理介紹加速度是一種用來反映物體在運(yùn)動(dòng)過程中的速度變化狀態(tài)的物理量，其無法直接測量，當(dāng)前的加速度傳感器（加速度計(jì)）采用間接測量以及力的平衡等技術(shù)來獲取物體的加速度。加速度傳感器的工作原理基于牛頓第二運(yùn)動(dòng)定律:作用于物體上的力等于該物體的質(zhì)量乘以加速度。石撓性加速度計(jì)是根據(jù)慣性原理，通過石英撓性支撐，加上先進(jìn)的電子技術(shù)構(gòu)成的精密儀表。在力平衡狀態(tài)下，加速度計(jì)的輸出量與輸入加速度準(zhǔn)確成比例，通過測量加速度計(jì)的輸出量，可以準(zhǔn)確計(jì)算出輸入的加速度物理量;具有高輸出阻抗的電流輸出形式，用戶可以根據(jù)情況選擇所需要的采樣電阻而不致影響系統(tǒng)穩(wěn)定性。

石英撓性加速度計(jì)溫控儀是加速度計(jì)生產(chǎn)調(diào)試過程中的關(guān)鍵設(shè)備,作用是為加速度計(jì)溫度系數(shù)的測試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計(jì)的實(shí)際工作條件55±3℃，生產(chǎn)過程中必須在55±0.5℃范圍內(nèi)進(jìn)行輸出信號的測試。石英撓性加速度計(jì)生產(chǎn)與應(yīng)用發(fā)展迅速，因此其相應(yīng)的溫度控制設(shè)備也非常重要。在溫度測控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應(yīng)用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語言變量及模糊邏輯推理為基礎(chǔ)的計(jì)算機(jī)智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計(jì)算機(jī)的程序?qū)崿F(xiàn)。一個(gè)模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結(jié)構(gòu)、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。撓性加速度計(jì)系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測電路。開發(fā)了基于單載波調(diào)制的電容檢測電路和伺服驅(qū)動(dòng)電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計(jì)系統(tǒng)的動(dòng)靜態(tài)性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，電容檢測電路線性度好，分辨力可達(dá)到10-16 F量級，可檢測到的上限差值電容約為7 pF。

石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計(jì)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí)，相對位置發(fā)生輕微偏移，引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電,撓性加速度計(jì)是一種檢測差動(dòng)電容的用伺服電路，同石英電容傳感器配接在一起，構(gòu)成一個(gè)完整石英撓性加速度計(jì)。 加速度計(jì)廣泛用于慣導(dǎo)系統(tǒng)中，測量運(yùn)動(dòng)載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成，主要特點(diǎn)是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無外接元件。