一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌

3、檢查外罩

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管

5、檢查氣體過濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)

6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)

7、檢查和清洗氣浮軸承

8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開關(guān)

9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)

10、檢查和調(diào)整測(cè)量機(jī)水平

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行

12、建議用激光干涉儀檢測(cè)和補(bǔ)償測(cè)量機(jī)各軸誤差

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)測(cè)針時(shí)，需注意的問題

（1）測(cè)前準(zhǔn)備。根據(jù)工件的測(cè)量范圍以及需要測(cè)量的方向和位置，首先確定所需用的測(cè)針組合，包括測(cè)針的直徑、數(shù)量、方向和是否加裝接長桿，盡量不在測(cè)量過程中更換測(cè)針。

（2）檢測(cè)校準(zhǔn)。測(cè)針校準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)使所選測(cè)針在標(biāo)準(zhǔn)球的軸向大直徑處分別接觸測(cè)量，以提高測(cè)針校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度。注意觀察校準(zhǔn)后測(cè)針的直徑和校準(zhǔn)時(shí)的形狀誤差，如果有較大變化，就需要查找原因。需要進(jìn)行6次以上的校準(zhǔn)，觀察其校準(zhǔn)結(jié)果的重復(fù)性數(shù)據(jù)，以統(tǒng)計(jì)原理求出標(biāo)準(zhǔn)偏差進(jìn)行分析。

三坐標(biāo)測(cè)量儀主要用在哪些行業(yè)

隨著科學(xué)的發(fā)展，三坐標(biāo)測(cè)量儀的使用頻率也越來越高。它可以對(duì)復(fù)雜的零件進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。它可以運(yùn)用到電子行業(yè)、線路板、刀具等，逐漸進(jìn)入到珠寶、航天等行業(yè)。已經(jīng)成為實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量單位、研究所的新寵兒。三坐標(biāo)測(cè)量儀可以多方位、多角度的準(zhǔn)確測(cè)量。而且可以對(duì)各種形狀的工件都有準(zhǔn)確的測(cè)量，還可進(jìn)行多倍的連續(xù)變焦，對(duì)細(xì)小的零件更清晰的測(cè)量、標(biāo)尺，還可以直接電腦CAD軟件進(jìn)行打印、存檔等等。