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特長(zhǎng)
● 可測(cè)量范圍廣:從大氣壓至5×10-2Pa
● 0~10V的線性壓力輸出,可直接接PLC使用
● 帶有LED故障提示
● 傳感器更換簡(jiǎn)便,可由客戶自行更換
● SW1-N1型帶有2點(diǎn)開關(guān)信號(hào)輸出
● SW1-N2型帶有RS-232C/RS-485通信接口
用途
◆ 可用于半導(dǎo)體、電子元件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理
◆ 可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機(jī)器的低真空領(lǐng)域的過程管理,可用于光伏、制冷、照明等行業(yè)
愛發(fā)科羅茨真空泵按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類
(1)機(jī)械式容積真空泵
靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機(jī)械增壓泵外,一般均可單獨(dú)使用。
(2)射流式真空泵
沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來(lái)抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,工作可靠,壽命長(zhǎng),易于維修,應(yīng)用比較普遍。
真空系統(tǒng)維修檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法,應(yīng)用中需要注意:
1、示漏氣體的種類與壓力會(huì)影響檢測(cè)靈敏度。
2、充入氣體的壓力還要考慮被檢件的機(jī)械強(qiáng)度。
3、被檢件檢測(cè)前需要進(jìn)行充分的清潔,同時(shí)要在充好氣后再放入液體中,防止堵塞漏孔。
4、區(qū)分虛漏與真漏,被檢件放入液體中,其表面的吸附氣體可能形成氣泡,需要與漏孔形成的氣泡加以區(qū)分,須將這些氣泡抹掉后再進(jìn)行觀察。
5、觀察時(shí)需要保證光線充足,液體清澈透明(皂膜法時(shí)尤其要注意皂液的稀稠度,過稀易流動(dòng)滴落導(dǎo)致漏檢,過稠易堵塞透明度差或形成氣泡造成誤檢),觀察背景要暗;同時(shí)被檢件要穩(wěn),距離水面要近,并保證水面平靜。
真空系統(tǒng)維修檢漏過程中發(fā)現(xiàn)漏孔要及時(shí)標(biāo)記,并復(fù)查確認(rèn)進(jìn)行焊補(bǔ),如果采用氫氣作為示漏氣體,要特別注意安全。