每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。人⑷無(wú)口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量1:7~1:14⑸發(fā)菌量：發(fā)塵量1:500~1:1000據(jù)國(guó)內(nèi)事例：⑹手術(shù)中人員發(fā)菌量878個(gè)/min。

    無(wú)塵室的優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵室等級(jí)。

    無(wú)塵室的缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出，易污染制無(wú)塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再重啟，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

   蘇州卓宇泰起重設(shè)備安裝有限公司主營(yíng)設(shè)備安裝，設(shè)備包裝，設(shè)備吊裝，無(wú)塵室設(shè)備移位與定位，大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。

   簡(jiǎn)易無(wú)塵室是快速方便建立的一座簡(jiǎn)易潔凈室，簡(jiǎn)易無(wú)塵室具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作，因此其簡(jiǎn)便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn)，簡(jiǎn)易無(wú)塵室同時(shí)可針對(duì)在一般等級(jí)的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。潔凈工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí)，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過(guò)濾器滿布率時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。