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油封機械真空泵是使用的一種，它有單級、雙級式，但性能較差，目前有潤滑閥式真空泵，用于大型真空設(shè)備的排氣方面，應(yīng)用較廣，單級泵極限真空可達1.3×10-4kPa，抽速為1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用廣、生產(chǎn)品種全的泵，常用于真空冶煉、真空干燥、真空處理、電子器件排氣等，也可以作為高真空的前級泵，極限真空1.3×10 -4～1.3×10-5kPa。

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按性能特點和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等。

（2）確定真空泵的抽速。，根據(jù)有效抽速S以及泵與真空室之間的連接管道的流導U確定主泵的抽速Sp。由流導串聯(lián)公式有1/S＝1/Sp 1/U

（3）根據(jù)被抽氣體種類、成分、溫度以及氣體含灰塵雜質(zhì)情況選真空泵 。

（4）根據(jù)真空室對油污染要求的不同,來選擇有油、無油、半無油、干式、濕式真空泵。干式真空泵適合于要求無油或工作液、或?qū)ぷ饕簝Υ婧吞幚碣M用比較關(guān)切等場合。

（5）根據(jù)投資及日常維護運轉(zhuǎn)的經(jīng)濟指標來選擇。