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(4) 擴散噴射泵:它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。
(5) 離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。
吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。
旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵,需要用前級泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無油真空泵,分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:
(1)一般水泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。
(2)油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。
(3)擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為"高"真空。
若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
在有機化學(xué)實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種,若不要求很低的壓力時,可用水泵,如果水泵的構(gòu)造好且水壓又高,抽空效率可達1067~3333Pa(8~25mmHg)。1水泵所能抽到的壓力理論上相當(dāng)于當(dāng)時水溫下的水蒸氣壓力。例如,水溫25℃、20℃、10℃時,水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時,應(yīng)在水泵前裝上安全瓶,以防水壓下降,水流倒吸;停止抽氣前,應(yīng)先放氣,然后關(guān)水泵。