無論監(jiān)控儀精度怎樣，它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚，一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設(shè)備此位置的膜厚不是均勻的，那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性，但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的，所以幾乎是不可能消除的，但對真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響較小。

Parylene是美國Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料，由獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，能涂敷到各種形狀的表面，號稱“無孔不入”，被業(yè)內(nèi)稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。Parylene可分為N型、C型、D型、F型、HT型等多種類型

現(xiàn)在，系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低，而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。

Parylene 材料

Parylene N，聚對二甲苯。將二中的一個氫原子用一個氯原子所取代，就得到Parylene C；將其中兩個芳香烴氫原子被氯原子取代，就得到Parylene D；苯環(huán)上的4個氫原子被氟取代，即可得Parylene F；而將二上的H原子替換為F原子，就得到HT型Parylene。

性能和用途

Parylene N是一種很好的介電材料，具有非常低的介質(zhì)損耗、高絕緣強(qiáng)度以及不隨頻率變化的介電常數(shù)。它是所有Parylene中穿透能力高的一種，有很好的自潤滑性，摩擦系數(shù)為0.25。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求，符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求。

派瑞林原料cN是一種很好的介電材料，具有非常低的介質(zhì)損耗、高絕緣強(qiáng)度以及不隨頻率變化的介電常數(shù)，是所有派瑞林原料c中穿透能力的一種，并具有很好的自潤滑性；

派瑞林原料cF具有高通透性和介電性能好的特點(diǎn)，在光電和等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用；

派瑞林原料cHT具有更低的介電常數(shù)，透波性能好，熱穩(wěn)定性好。

派瑞林原料c可以涂敷到各種形狀的表面，在鹽霧、霉菌、潮濕、腐蝕性等惡劣環(huán)境中顯示了很好的隔離防護(hù)功能。而且生物相容性和生物穩(wěn)定性也好，無毒無副產(chǎn)物，可以進(jìn)行常規(guī)消毒。隨著生物電子科學(xué)的不斷進(jìn)步和發(fā)展，領(lǐng)域的很多方面都有使用派瑞林。