凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造.每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的級(jí)別。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于標(biāo)級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。

靜電式凈化方式

　　工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線(xiàn)在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過(guò)電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。 缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國(guó)市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。

層過(guò)濾/紙袋（丟棄式）：4gall(15L)能有效的收集處理可目視粉塵。

第二層過(guò)濾/加大的布質(zhì)過(guò)濾器（可洗式）：可以保護(hù)并延長(zhǎng)HEPA 過(guò)濾器的壽命。

第三層過(guò)濾/馬達(dá)保護(hù)套：深層過(guò)濾，可以保護(hù)馬達(dá)使用壽命。

第四層過(guò)濾/HEPA 或ULPA 過(guò)濾器：

HEPA 可有效過(guò)濾0.3um 微塵達(dá)99.99%，適合用在較細(xì)微的過(guò)濾。HEPA 全部經(jīng)過(guò)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的檢測(cè)。ULPA 可以有效過(guò)濾99.999%的0.12um（相當(dāng)于人類(lèi)頭發(fā)直徑的1/960）d大小的粉塵，適用于CLASS1-10級(jí)無(wú)塵凈化環(huán)境，國(guó)家航天局專(zhuān)用吸塵器。

相信懂得凈化車(chē)間吸塵器的應(yīng)該比較熟悉了吧，這樣的過(guò)濾系統(tǒng)用在百級(jí)和千級(jí)凈化車(chē)間車(chē)間里面是不成問(wèn)題的。

等某一空間需要過(guò)濾器與照明時(shí)，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過(guò)濾器合并在一起，這種器具經(jīng)常使用在小型且已預(yù)制好的凈化車(chē)間內(nèi)，這種器具為嵌入式，有開(kāi)放的頂部和一個(gè)替代燈罩的巧克力制百葉，同時(shí)用于作為照明照明燈具與空氣輸送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過(guò)濾器空間需求的沖突，同時(shí)作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已發(fā)展出模塊式的天花板系統(tǒng)，具有內(nèi)建在格架通道內(nèi)的整合照明，這些系統(tǒng)允許層流氣流不受到影響。污染控制是凈化車(chē)間設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的主要目標(biāo)，任何帶有進(jìn)入凈化車(chē)間的潛在污染源要嚴(yán)格清除使其控制在一定范圍內(nèi)，照明燈具要進(jìn)行污染評(píng)估檢測(cè)。