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愛德華干式真空泵信賴推薦「明勝機電」

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發(fā)布時間:2021-10-27 01:57  








EDWARD E2M80 愛德華真空泵維修

  惠州市明勝真空設(shè)備有限公司www.hzmszk.com真空泵維修服務(wù):公司擁有一支強大、專業(yè)維修進(jìn)口真空泵技術(shù)隊伍,特別精通于普旭(博世)BUSCH,萊寶Leybold,偉力Rietschle(里其樂),Becker貝克,EDWARD愛德華,ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口真空泵的維修與保養(yǎng)服務(wù),歡迎廣大業(yè)界人士來電來函,我們將竭誠為您提供免費的技術(shù)指導(dǎo)與全套滿意的維修服務(wù)支持。適用于研發(fā)實驗室的實驗室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品,以應(yīng)對當(dāng)今研發(fā)實驗室所面臨的種種挑戰(zhàn)。



鍍膜機真空泵機組E2M275 EH1200

銷售愛德華E2M275 EH1200真空泵機組,

英國Edward愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣

而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維

持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體

傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。




半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案,這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平,同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本,努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM,以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng),因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。原裝進(jìn)口愛德華真空泵油新品,全國包郵Edwards愛德華真空泵油,真空泵油可改善真空泵性能、耐磨性和抗高溫性好,泵油使用后不容易乳化與積炭,從而延長換油的時間間隔。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng),用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷(即晶圓的圖案形成)是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境,但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊,使用時非常安靜,具備先進(jìn)的潤滑回路,可靠性高,配有各種附件,可以滿足特定的應(yīng)用需求。要讓您的系統(tǒng)具有 性能,真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要,它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng),可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。五、羅茲泵EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵,其抽氣率從240m3/h到4500m3/h,極限真空10-3mbar。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積,不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。


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