因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學清洗工作站，清洗晶片時所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過水洗中和處理，再由風機排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產(chǎn)生，需經(jīng)有機廢氣處理設備處理后，再由風機排入大氣。

為了便于風道就位，一般多采用將風道吊在腳手架上，然后再將其抬放在風道支架上的方法。腳手架應沿其風道長度方向搭設，高度和位置應適合施工操作，吊裝順序應先干管后支、立管，

吊起時，吊點應牢固，兩吊點應均勻受力。垂直風管可采用人工和大繩輔助就位。調(diào)整風管保證垂直度要求。

風道調(diào)直：就位在支架上的風道，應撥正位置，調(diào)整風道橫平豎直，然后再按圖集要求固定。

螺旋風管是用金屬帶料卷制成螺旋形咬縫的薄壁管，風管廠家,通風風管圓形，無焊接，不漏氣，不漏水，多用于送風和散裝物料輸送，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的白鐵管（即手工咬縫鐵管）。是風管的一種，全機制，直管無需手工敲打。

其主要用途如下：

(1) 送風，包括通氣，如送鮮風和排氣，這個范圍較廣，如工廠車間，生產(chǎn)場地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，螺旋風管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場所使用不銹鋼管。

 部件方面，設備如果和風管連接，那支吊架要重新單獨設置，并且他不能夠成為風管的吊點。 雙吊桿支架在風道就位后，應保證橫擔平直，吊桿不扭轉(zhuǎn)，雙吊桿受力均勻。風管支吊點與風口、風閥和自動控制機構(gòu)之間的距離，應不小于200mm。風道安裝時，進、出風日宜在風道預制時開出洞口，如需在安裝完畢的風道上現(xiàn)開風口，其接口處應嚴密。