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發(fā)布時(shí)間:2021-07-24 18:15  






真空鍍膜設(shè)備的維護(hù)需要實(shí)際操作,不僅包括真空鍍膜設(shè)備本身,還包括真空鍍膜設(shè)備等配置。畢竟,配置是真空鍍膜設(shè)備維護(hù)的重要前提。

真空鍍膜設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)等許多技能都是一樣的,有著豐富的經(jīng)驗(yàn)來(lái)應(yīng)對(duì)各種情況,保證良好的效果。手機(jī)真空鍍膜



當(dāng)真空鍍膜設(shè)備抽泵連續(xù)工作一個(gè)月的時(shí)候,我們需要重新更換新油,將泵油內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)然后加入新的泵油至一定量。連續(xù)使用半年以上,再將真空泵油時(shí)應(yīng)該將油蓋打開(kāi),用布擦拭箱內(nèi)的污垢。


在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。薄膜的成膜過(guò)程,是一個(gè)物質(zhì)形態(tài)的轉(zhuǎn)變過(guò)程,不可避免地在成膜后的膜層中會(huì)有應(yīng)力存在,對(duì)于多層膜來(lái)說(shuō)有不同膜料的組合,各膜層體現(xiàn)出的應(yīng)力是有所不同的,有的是張應(yīng)力、有的是壓應(yīng)力,還有膜層及基片的熱應(yīng)力。

輔助氣體的充入要考慮膜料的放氣,鍍前對(duì)膜料充分預(yù)熔充分放氣,也可以避免由于蒸鍍中膜料放氣造成真空度過(guò)度下降,從而影響膜強(qiáng)度。


真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。

對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。

在真空條件下成膜有很多優(yōu)點(diǎn):可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過(guò)程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)(如氧化等),以及減少成膜過(guò)程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。

蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比,具有較高的沉積速率,可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。




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