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PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)的主要特點和優(yōu)勢:和真空蒸發(fā)鍍膜真空濺射鍍膜相比較,PVD離子鍍膜具有如下優(yōu)點:1.膜層與工件表面的結(jié)合力強,更加持久和耐磨2.離子的繞射性能好,能夠鍍形狀復雜的工件3.膜層沉積速率快,生產(chǎn)效lv高4.可鍍膜層種類廣泛5.膜層性能穩(wěn)定、安全性高(獲得FDA認證,可植入人體)PVD是英文PhysicalVaporDepsition的縮寫,中文意思是“物理氣相沉積”,是指在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)。PVD鍍膜和PVD鍍膜機:PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類,真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。
PVD主要分為蒸鍍、濺射和離子鍍?nèi)箢?。真空蒸鍍在真空條件下,采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化,粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。濺射鍍膜利用氣體放電產(chǎn)生氣體電離,其正離子在電場作用下高速轟擊陰極靶體,擊出陰極靶體原子或分子,飛向被鍍基體表面沉積成薄膜。離子鍍膜在真空條件下,利用氣體放電使氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)離子化,在氣體離子或蒸發(fā)物質(zhì)離子轟擊作用下,把蒸發(fā)物質(zhì)或其反應物蒸鍍在工件上。
②氮碳化鈦涂層(TiCN):TiCN涂層是在TiN的基礎上添加碳元素,以提高涂層的硬度和低的摩擦系數(shù)用途:高速gang刀具,沖壓模具,成型模具。③氮鋁鈦(TiAlN)、氮鈦鋁AlTiN:俗稱:中鋁(Al:Ti=50:50)、高鋁(Al:Ti=67:33)以上,TiAlN/AlTiN涂層在加工過程中形成的氧化鋁涂層可以有效提高加工工具的高溫加工壽命,AlTiN涂層的抗高溫氧化比TiAlN要高100度左右。用途:硬質(zhì)合金工具(加工材料硬度低于HRC45時建議用TiAlN,加工材料硬度高于HRC45時建議使用AlTiN涂層),薄壁件沖壓模具(TiAlN),壓鑄模具(AlTiN)。
由于該工藝過程具有炸性質(zhì),并可形成液化金屬的液滴,因此可能導致涂層表面粗糙。引入反應氣體從而形成化合物2)濺射(電離度低):濺射是用高能粒子轟擊靶材而使原子從固體靶材上彈出的過程。在薄膜涂層中,這是通過加速朝向固體靶材的ya離子,使其在靶材上擊出金屬原子并聚集在工件上來實現(xiàn)的。通過在真空腔室中引入氣體而形成如金屬氮化物等化合物。國內(nèi)外技術(shù)對比分析:①整體差距:調(diào)查資料顯示:目前,國外PVD涂層行業(yè)的生產(chǎn)設備一般技術(shù)力量雄厚,工藝裝備精良,檢測手段齊全,并擁有全國先進的大噸位及配套生產(chǎn)設備,具有較強的生產(chǎn)能力。