影響不同潔凈級(jí)別造價(jià)的主要指標(biāo)

我們知道，影響不同潔凈級(jí)別潔凈室造價(jià)的主要指標(biāo)是風(fēng)量、冷量及耗電量等。在工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，采用氣流類型主要有單向流及非單向流類型。 非單向流潔凈室廣泛用于電子工業(yè)、生物工業(yè)和各種工業(yè)潔凈室，這類潔凈室的進(jìn)化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)通常采用頂送側(cè)回、頂送頂回等方式，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和和各種公用動(dòng)力管線等。

我國(guó)使用的0

我國(guó)使用的0.1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

我國(guó)主要八家凈化設(shè)備廠銷售額1990年為8217萬(wàn)元

據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，我國(guó)主要八家凈化設(shè)備廠的銷售額1990年為8217萬(wàn)元，還不足1億，1993年達(dá)到14495萬(wàn)元，占國(guó)際市場(chǎng)銷售額的0.34％。但隨著我國(guó)高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、工業(yè)的發(fā)展，我國(guó)潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場(chǎng)，以每年40％~50％的增長(zhǎng)速度在增加。因此在未來(lái)，潔凈市場(chǎng)的蛋糕是巨大的。