真空設(shè)備制造商“株式會社ULVAC（愛發(fā)科）”在中國投資興建的全資公司，于2003年7月在工業(yè)園區(qū)設(shè)立，總投資10,350萬美元，注冊資本3450萬美元，占地面積七萬多平方米。主要為半導體功率器件、集成電路、電力電子、LED等行業(yè)提供芯片生產(chǎn)及研發(fā)的相關(guān)真空設(shè)備，同時提供設(shè)備及周邊產(chǎn)品的售后服務(wù)。特別是在半導體制造設(shè)備及平面顯示器等制造設(shè)備方面，以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，進行了各種技術(shù)開發(fā)，已經(jīng)和正在提供作為制造工藝重要部分的先進設(shè)備。工廠于2011年再度擴建，從2012年年初開始，為平板顯示器，太陽電池等制造行業(yè)提供先進設(shè)備。

     公司由日本總部提供雄厚的技術(shù)支持，既擁有與日本總部同等的技術(shù)資源，又擁有國內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商在價格、交貨期、售后服務(wù)等方面的綜合優(yōu)勢，受到廣大客戶的一致好評和厚愛。

真空泵維修廠家溫馨提醒您應(yīng)該定期檢修維護真空泵設(shè)備：

泵油隨著泵的運轉(zhuǎn)惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時替換泵油。替換泵油的周期：每六個月?lián)Q油清洗一次。泵油替換步驟如下：

A、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運行。泵內(nèi)剩下的泵油容易被排除。

B、先拆下排氣管，在打開放油閥，然后倒出泵油

C、關(guān)閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入

D、如果泵油的污染非常嚴重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運轉(zhuǎn)使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復(fù)多清洗幾遍

E、換上新泵油后，讓泵開機運行，等溫度升高以后在確認真空極限壓力

F、檢修過程需清洗過濾網(wǎng)

不同的主真空泵，其前級泵配置各異，分述如下。

(1)蒸汽流泵前級配置

類泵包括油擴散泵、油擴散噴射泵以及增擴泵等。在主泵允許的z大排氣口壓力下，前級泵需將主泵產(chǎn)生的z大氣體量及時抽走，即前級泵的有效抽速必須滿足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前級泵的有效抽速，L/s，和選擇高真空泵一樣，先由Sq來確定前級泵的抽速，然后再根據(jù)該抽速選定泵型;

pn ——主泵前級的臨界前級壓力，Pa;

Qmax ——所能排出的z大氣體量，Pa .L/s;

pg ——主泵允許的z高工作壓力，Pa;

S——主泵工作在pg時的有效抽速，L/s。

在選擇前級泵時，應(yīng)該注意機械泵的抽速是在大氣壓力下測得的，但正常使用的泵都是在低于大氣壓的條件下運轉(zhuǎn)，使泵的抽速下降了，因而我們必須根據(jù)抽速曲線來選擇泵。若沒有抽速曲線，可參考經(jīng)驗公式

Sp =(1.5～3) S’p

式中，Sp——實際選用的前級泵的抽速;

S’p——計算要求的前級泵抽速。