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對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
1、送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s
潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計開始,到建筑、裝修,以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個核心。潔凈廠房保潔也離不開這個核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對塵??刂朴辛撕芨叩谋U?,但是,建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚,尤其是10000級、100000級潔凈廠房(因建造成本限制)。
微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。