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氣體與液體相同是流體:它能夠活動(dòng)，可變形。與液體不同的是氣體能夠被壓縮。假設(shè)沒(méi)有約束(容器或力場(chǎng))的話，氣體能夠分散，其體積不受約束。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間能夠自由運(yùn)動(dòng)

通常，高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度)，微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在低限度，其粒度也應(yīng)是小的(潔凈度)。因此，對(duì)于高純氣體，純度、干燥度、潔凈是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。

特別是近10年來(lái)，隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，對(duì)高純氣體潔凈度的要求，其重要程度已不亞于對(duì)純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝，無(wú)一不對(duì)其中的粒子提出限制。

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二氧化碳是惰性氣體，不存在燃燒、的風(fēng)險(xiǎn)。即使鋼瓶的閥門損壞，其 大的風(fēng)險(xiǎn)就是氣體快速噴出（嘶嘶響的噪聲怪嚇人的），而已。其次，二氧化碳 低溫度-78.5℃，遠(yuǎn)高于液態(tài)氧氣的-120℃，高于氣的-189℃，高于液氮的-196℃，即使?jié)姙⒌狡骶呋蛏眢w上，也不會(huì)造成 性傷害。

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目前微量氧的分析一般采用氧分儀和氣相色譜分析，不論采用哪種分析方法，微量氧的分析采樣是一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，因?yàn)榭諝庵泻写罅康难鯕?，如果取樣過(guò)程出現(xiàn)任何小的紕漏都會(huì)造成數(shù)據(jù)的嚴(yán)重失真。取樣閥一定要采用直通不帶壓力表的針形微調(diào)閥，這種閥體積小，置換起來(lái)比較方便，管線也一定要采用不銹鋼硬鏈接的管線，任何軟管都不能采用。氣相色譜分析微量氧的方法主要有TCD、ECD、DID以及氧化鋯和質(zhì)譜等方法，