測(cè)試的IGBT參數(shù)包括：ICES（漏流）、BVCES（耐壓）、IGESF（正向門極漏流）、IGESR（反向門極漏流）、VGETH（門檻電壓／閾值）、VGEON（通態(tài)門極電壓）、VCESAT（飽和壓降）、ICON（通態(tài)集極漏流）、VF（二極管壓降）、GFS（跨導(dǎo)）、rCE（導(dǎo)通電阻）等全直流參數(shù), 所有小電流指標(biāo)保證1%重復(fù)測(cè)試精度, 大電流指標(biāo)保證2%以內(nèi)重復(fù)測(cè)試精度。IGBT動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)要求1、設(shè)備概述該設(shè)備用于功率半導(dǎo)體模塊（IGBT、FRD、肖特基二極管等）的動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試，以表征器件的動(dòng)態(tài)特性，通過測(cè)試夾具的連接，實(shí)現(xiàn)模塊的動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試。

半導(dǎo)體元件全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，可以元件在真正工作狀態(tài)下的電流及電壓，并測(cè)量重要參數(shù)的數(shù)據(jù)，再與原出廠指標(biāo)比較，由此來判定元件的好壞或退化的百分比。關(guān)斷時(shí)間測(cè)試參數(shù)： 1、關(guān)斷時(shí)間toff：5～2000ns±3%±3ns 2、關(guān)斷延遲時(shí)間td(off)：5～2000ns±3%±3ns 3、下降時(shí)間tf：5～2000ns±3%±3ns 4、關(guān)斷能量：0。每個(gè)電流模塊，都具有獨(dú)立的供電系統(tǒng)，以便在測(cè)試時(shí)，提供內(nèi)部電路及電池組充電之用； 可選購?fù)獠扛邏耗K，執(zhí)行關(guān)閉狀態(tài)參數(shù)測(cè)試如：各項(xiàng)崩潰電壓與漏電流測(cè)量達(dá)2KV。

參數(shù)名稱 符號(hào) 參數(shù)名稱 符號(hào)

開通延遲時(shí)間 td(on) 關(guān)斷延遲時(shí)間 td(off)

上升時(shí)間 tr 下降時(shí)間 tf

開通時(shí)間 ton 關(guān)斷時(shí)間 toff

開通損耗 Eon 關(guān)斷損耗 Eoff

柵極電荷 Qg

短路電流 ISC / /

可測(cè)量的FRD動(dòng)態(tài)參數(shù)

反向恢復(fù)電流 IRM 反向恢復(fù)電荷 Qrr

反向恢復(fù)時(shí)間 trr 反向恢復(fù)損耗 Erec

主要參數(shù) 測(cè)試范圍 精度要求 測(cè)試條件

Vce

集射極電壓 150～3300V 150～500V±3%±1V；

500～1000V±2%±2V；

1000～3300V±1%±5V； 150～3300V

Ic

集射極電流 1～200A 1～200A±3%±1A； 1～200A

Vge

柵極電壓 -30V～30V -30～0V±1%±0.1V；

0～ 30V±1%±0.1V -30V～30V

Qg

柵極電荷 400~20000nC Ig: 0～50A±3%±0.1mA; 400~20000nC

td(on)、td(off)

開通/關(guān)斷延遲 10～1000ns 10~200±2%±2ns；200~1000±2%±5ns

tr、tf

上升/下降時(shí)間 10～1000ns 10~200±2%±2ns；200~1000±2%±5ns；

Eon、Eoff

開通/關(guān)斷能量 1～5000mJ 1～50mJ±2%±0.1mJ；

50～200mJ±2%±1mJ；

200～1000mJ±2%±2mJ；

1000～5000mJ±1%±5mJ；

11）動(dòng)態(tài)測(cè)試?yán)m(xù)流二極管

用于防止測(cè)試過程中的過電壓。

?壓降小于1V

?浪涌電流大于20kA

?反向恢復(fù)時(shí)間小于2μs

?工作溫度 室溫～40℃

?工作濕度 <70%

12）安全工作區(qū)測(cè)試?yán)m(xù)流二極管

?浪涌電流 大于20kA

?反向恢復(fù)時(shí)間 小于2μS

?工作濕度 <70%

13）被測(cè)器件旁路開關(guān)

被測(cè)安全接地開關(guān)，設(shè)備不運(yùn)行時(shí)，被測(cè)接地。

?電流能力 DC 50A

?隔離耐壓 15kV

?響應(yīng)時(shí)間 150ms

?工作方式 氣動(dòng)控制

?工作氣壓 0.4MPa

?工作濕度 <70%