離子鍍膜設(shè)備的操作規(guī)范是怎樣的?

離子鍍膜設(shè)備的操作規(guī)范是怎樣的？ 1、設(shè)備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。 2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管，分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時，應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。 3、如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時，應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱 4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。 5、離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率，提高鍍膜材料的利用率，合理匹配沉積源的功率，合理布置沉積源在真空室體的位置。 6、合理布置加熱裝置，一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。 7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣，工件架的設(shè)計應(yīng)使工件膜層均勻。 8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源，離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置，維持工作穩(wěn)定。

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開相應(yīng)的監(jiān)測

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開相應(yīng)的監(jiān)測，那么如何監(jiān)測呢？下面一起來看看吧。 1.目視監(jiān)控使用雙眼監(jiān)控，因為薄膜在成長的過程中，因為干涉現(xiàn)象會有色彩改變，我們即是依據(jù)色彩改變來操控膜厚度的，此種辦法有必定的差錯，所以不是很，需求依托經(jīng)歷。 2.定值監(jiān)控法此辦法使用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計算機(jī)計算在波長一時總膜厚之反射率是多少，此即為中止鍍膜點。 3.水晶振動監(jiān)控使用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的?？墒鞘⒈O(jiān)控有一個欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后，振動頻率不全然因為石英自身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此刻有必要使用新的石英振動片。 4.極值監(jiān)控法當(dāng)膜厚度添加的時候其反射率和穿透率會跟著起改變，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點的時候，就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長（入）的四分之一的整倍數(shù)。可是極值的辦法差錯對比大，因為當(dāng)反射率或許透過率在極值鄰近改變很慢，亦即是膜厚ND添加許多，R/T才有改變。反映對比的方位在八分之一波利益。

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法 目前商業(yè)上已有很精制的設(shè)備安裝在顯微鏡下的載物臺的位置上。濺射鍍膜時，將拋光的試樣安放在式樣頭具上，傾轉(zhuǎn)到面對電子槍（陰極）的位置，調(diào)節(jié)濺射室中的氣壓，輝光放電，陰極濺射，反應(yīng)濺射沉積。一定時間后，中斷濺射，把濺射沉積的試樣表面，轉(zhuǎn)回到面對物鏡的位置，觀察試樣表面的顏色，來評定沉積膜的厚度，當(dāng)要求的顏色得到時，鍍膜操作停止。