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?標準氣體的特殊性
標準氣體的特殊性,對采樣有著特殊的要求,很多使用者由于采樣的不規(guī)范,使得數(shù)據(jù)偏差很大,在這里我提供樣品取樣應該注意的方面:取樣管線的選擇,由于膠管使用起來很方便,很多傳統(tǒng)的進樣管線都采用此類,但是眾所周知,膠管對大部分有機氣體,和含硫類的氣體吸附性非常強,而且它的滲透性也很強,所以使用各類膠管來采樣是不可取的,對分析數(shù)據(jù)造成很大偏差。建議根據(jù)不同的氣體性質采用銅管、不銹鋼管、四氟管而對于含硫的標準氣和樣品氣采用內涂石英的不銹鋼管。?高純氣體管道的組成
高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵 ,包括系統(tǒng)的設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。半導體技術是 20 世紀以來偉大的也是具有生命活力的技術,半導體制造技術是貫穿高純氣體的提供、原料硅的提煉 、晶圓的制造 、IC 的封裝和測試的整個過程。反映當今世界高科技水平的微電子產品,正以、低成本為目標,高速地向高密度、高集成發(fā)展,對氣體雜質含量限制更加嚴格 ,相應 的高純、高潔凈氣體及其管路的輸配