Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí)，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對(duì)工件能進(jìn)行表面加固，但不會(huì)引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

        Parylene是一種高結(jié)晶度透明薄膜材料，直接涂敷在被保護(hù)標(biāo)本上，無需另加防霉劑，本身防霉能達(dá)零級(jí)。脆弱的、標(biāo)本等可用Parylene加固保護(hù)，能防止標(biāo)本、生物、動(dòng)植物標(biāo)本朽蝕及蟲蛀，無需特殊保護(hù)就能長期保存，被譽(yù)為是一種可給考古界、生物界帶來特殊福音的新型保護(hù)材料，能解決其它材料不能解決的保護(hù)問題。

       脆弱的、標(biāo)本等可用Parylene加固保護(hù)、延長壽命，被譽(yù)為是一種可給考古界帶來一場(chǎng)變革的新型保護(hù)材料，能解決其它材料不能解決的保護(hù)問題。檔案保存：Parylene覆膜可使檔紙張的質(zhì)地變得堅(jiān)韌、耐儲(chǔ)存，不必?fù)?dān)心珍貴的檔在查閱時(shí)被損壞。

       1、光學(xué)特性：Parylene在可見光的范圍內(nèi)吸收得很少，因此是透明無色的。無色透明的薄膜可用于光學(xué)器件、可擦性光電儲(chǔ)存器件和靜電復(fù)印器件。在低于280微米時(shí)，Parylene  N 和Parylene C 的吸收都很強(qiáng)。

       2、性和氣候變化抵抗能力：在真空中，Parylene N,C和D薄膜表現(xiàn)出很高的抵抗伽瑪射線衰變的能力。張力和電氣性能在1.6Mr/h的劑量率下加到100Mr之后仍舊保持不變。雖然Parylene在室內(nèi)穩(wěn)定，但建議不要在室外陽光直接照射的環(huán)境下長期使用。