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流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。流量控制器安全使用準(zhǔn)則①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否,與安裝有直接關(guān)系。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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流量控制器的特點(diǎn)
地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm。浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器
選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意
注意選擇合適的響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)
有的應(yīng)用系統(tǒng)對(duì)MFC的響應(yīng)時(shí)間有較高的要求,用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)的同時(shí),還應(yīng)注意其響應(yīng)過(guò)程及動(dòng)態(tài)特性。
注意對(duì)安裝位置有無(wú)要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。
注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對(duì)使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)(特別是使用對(duì)腐蝕性氣體)情況等均有一定適用范圍,請(qǐng)注意閱讀說(shuō)明書(shū)或向廠家咨詢。
注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應(yīng)用。
訂貨應(yīng)注明:
產(chǎn)品名稱、型號(hào)、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數(shù)量。