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ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機
ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機是專為科研院所及實驗室用戶群體設計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。技術要求:1、鍍膜室:鍍膜腔室尺寸約為600×450×450mm,不銹鋼材料,方形前后開門結構,內帶有防污板。采用大抽速分子泵準無油高真空系統(tǒng),機架電控一體化設計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機工程學的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的真空室結構。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等,特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領域。
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300D三源有機蒸發(fā)鍍膜機
主要用途:
特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領域。
系統(tǒng)組成:
主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng)、樣品臺系統(tǒng)、 真空抽氣及測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、膜厚測試 系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成。
技術指標:
極限真空度6.7×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1×10-7PaL/S; 恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa(短時間暴露 大氣并充干燥氮氣后開始抽氣)
樣品臺:尺寸為4英寸平面樣品;
蒸發(fā)源:3套
4套擋板系統(tǒng):擋板共有3套,動密封手動控制;
氣路系統(tǒng):質量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)
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真空鍍膜技術的應用
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產品,我們?yōu)槟治鲈摦a品的以下信息。
1、在光學薄膜領域中的應用:增透膜、反膜、截止濾光片、防偽膜等。
2、在建筑玻璃方面的應用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。
3、在防護涂層中的應用:飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等。
4、在硬質涂層中的應用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。
5、在太陽能利用領域的應用:太陽能集熱管、太陽能電池等。
6、在集成電路制造中的應用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。
7、在信息存儲領域的應用:磁信息存儲、磁光信息存儲等。
8、在信息顯示領域的應用:液晶屏、等離子屏等。
9、在裝飾飾品上的應用:手機殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。
10、在建筑玻璃方面的應用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。
11、在防護涂層中的應用:飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等。
12、在硬質涂層中的應用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。
13、在太陽能利用領域的應用:太陽能集熱管、太陽能電池等。
14、在集成電路制造中的應用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。
15、在信息存儲領域的應用:磁信息存儲、磁光信息存儲等。
16、在信息顯示領域的應用:液晶屏、等離子屏等。
17、在裝飾飾品上的應用:手機殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。