成品保護(hù)后續(xù)工序施工時(shí)，地板面需蓋上干凈的布匹，防止損壞和污染。有了整體實(shí)驗(yàn)室凈化工程解決方案，就如同為客戶提供一個(gè)統(tǒng)一的界面，將所有的設(shè)備供應(yīng)商、工程承包商、服務(wù)供應(yīng)商整合在一起，系統(tǒng)化的進(jìn)行設(shè)備配置，保證了整個(gè)實(shí)驗(yàn)室的容量和設(shè)備間的配套，滿足當(dāng)前和未來發(fā)展的需要。輔助用房地磚面層：按設(shè)計(jì)要求和有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)選材，粘貼做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，磚縫用專用的勾縫膠勾縫，做到平整、與地磚粘結(jié)牢固。潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)延1時(shí)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門，設(shè)計(jì)為彈簧門，應(yīng)以鋁合金制作，要達(dá)到密封和易潔凈的要求。

潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)時(shí)，預(yù)先考慮和計(jì)算好機(jī)械設(shè)備占用面積很重要，在設(shè)計(jì)階段，要秉持靈活性原則，為未來發(fā)展需要做好準(zhǔn)備，這樣的實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)方案更利于進(jìn)一步的擴(kuò)張和修改，以及添加新設(shè)備和工具。常用的水冷式螺桿式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求墻壁管道系統(tǒng)可容納較多的管道、電力設(shè)施。

潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求氣閘能幫助小化和防止可能影響工作流程的壓力變化。因?yàn)闈崈羰覂?nèi)可能存在大量灰塵、污垢顆粒、有害化學(xué)物質(zhì)和其他污染物等。

風(fēng)道長(zhǎng)度較長(zhǎng)時(shí),風(fēng)道長(zhǎng)度方向?yàn)楦哳l消聲提供了較大的自然衰減量,為低頻消聲不足而設(shè)置的低頻消聲器宜裝在出風(fēng)口附近。在防微振領(lǐng)域,從廠房結(jié)構(gòu)形式、動(dòng)力設(shè)備布置及隔振措施到精密設(shè)備防微振措施等方面獨(dú)特的建樹,為集成電路生產(chǎn)提供了一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。設(shè)計(jì)選用阻性消聲器時(shí),應(yīng)防止高頻失效的影響。當(dāng)管徑小于300mm時(shí),可選用直管式消聲器,大于300mm時(shí),應(yīng)選用片式、蜂窩式、折板式或聲流式等消聲器。對(duì)于高溫、高壓、高速排氣放空噪聲,應(yīng)設(shè)計(jì)和選用節(jié)流降1壓小孔噴注放空消聲器。