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濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。設(shè)計合理的空間面積應(yīng)考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲存區(qū)應(yīng)有與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)的空間面積,用以安置設(shè)備、物料,便于操作和維修。現(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多,所以凈化工程企業(yè)之間的競爭也很激烈,因為科技的發(fā)展使得市場對凈化工程的要求高了起來,從以前的價格競爭變成了現(xiàn)在的價值競爭。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力,不斷的發(fā)展創(chuàng)新,才能適應(yīng)這個競爭激烈的市場。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力?,F(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟科技在發(fā)展,同時帶動了社會各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
10級:主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。設(shè)計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。100級:是常用的凈化工程,除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求,對空氣中細菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進行無菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實驗也在此環(huán)境中,包括實驗動物飼養(yǎng)環(huán)境。現(xiàn)在我們國家的經(jīng)濟科技在發(fā)展,同時帶動了社會各行各業(yè)在告訴發(fā)展中。以凈化工程這個行業(yè)為例,在目前呈現(xiàn)一片喜人的發(fā)展態(tài)勢。