微孔加工。但是，電火花加工的速度極低，加工的成本比較高，用于加工小孔的電極銅工的電子束功率密度高，可加工高硬度、高強度、高韌性、高脆性、高熔點的金屬材料和非金屬材料，加工使用的功率密度大約為109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工數(shù)微米的孔，孔的加工效率很高，這主要取決于被加工件的移動速度。能實現(xiàn)通過磁場或電場對電子束的強度、位置進行直接控制，便于實行自動化加工，主要用于園孔加工，也可用于加工異形孔、錐孔、窄縫等。該種工藝方法屬于非接觸加工，因此工件本身不受機械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。在真空狀態(tài)下進行，特別適合于加工易氧化的材料或純度要求高的單晶體、半導體等材料。

微孔加工——電火花加工：   電火花加工是另一種微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正負極）之間脈沖性火花放電時的電腐蝕現(xiàn)象來蝕除多余的金屬，以達到對零件的尺寸形狀和表面質(zhì)量預定的加工要求。電火花腐蝕的主要原因是：電火花放電時通道中瞬時產(chǎn)生大量的熱，達到很高的溫度，足以使金屬材料局部融化，氣化而被蝕除掉，形成放電凹坑。電火花加工方法對于材料的去除是靠放電時的電熱作用實現(xiàn)的，材料的可加工性主要取決于材料的導電性及其熱學性能，而幾乎與材料的力學性能無關(guān)。這樣就突破了傳統(tǒng)加工對刀具的限制，可以實現(xiàn)軟刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具電極和工件不直接接觸，沒有機械加工宏觀的切削力，因此更適于加工低剛度工件和細微工件，而且可以得到相當高的精密性和性。 電火花加工的突出局限性是：主要用于加工金屬導電材料，而且一般加工速度比較慢。但總的來說，電火花這種需要加工力小，有相對加工精度保證的加工方法，將會在以后的微孔加工中受到更多的重視。

技術(shù)是20世紀80年代末出現(xiàn)的一種先進制造技術(shù)[2]。采用快速原型技術(shù)可以對產(chǎn)品設(shè)計進行快速評價和修改，以及時響應(yīng)市場需求，提高企業(yè)的競爭能力。熔融沉積造型作為一種快速原型制造工藝，是指采用熱熔噴頭將處于半流動狀態(tài)的材料按CAD分層數(shù)據(jù)控制的路徑逐層擠出，堆積、凝固后形成整個原型或零件[3]。常見的用于FDm的噴頭口型直徑約為0.2mm，屬微小孔范圍。目前如此微小的孔可以使用電火花、高速鉆削以及激光等方法加工。激光加工工藝近年來發(fā)展較快，現(xiàn)在已經(jīng)可以用激光在紅、藍寶石上加工直徑為0.3mm、深徑比為50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦極細的激光束方便地鉆出直徑為0.1～0.3mm的微小孔[5]。考慮到微小孔激光加工工藝的的優(yōu)點及其應(yīng)用日益增加的趨勢，本文著重研究采用激光加工的微小孔內(nèi)表面粗糙度的測量。

抑制毛刺的產(chǎn)生：孔出口處的毛刺和交叉孔加工的毛刺均極難去除，必須對鉆頭形狀加以更大改進和調(diào)整加工孔出口處的切削條件，才能有效抑制毛刺的產(chǎn)生。

開發(fā)減小鉆頭振動的夾持系統(tǒng)：鉆頭安裝在機床主軸夾具上，應(yīng)保證振擺精度在1μm以內(nèi)。鉆頭直徑越小，剛性越低，振擺失控將大幅度縮短工具壽命。因此，必須開發(fā)減振性能良好的夾具，將其與微型鉆頭相配合，以提高微孔加工的精度和延長工具壽命。