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減薄機加工品牌企業(yè)「多圖」

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發(fā)布時間:2020-10-09 07:50  






影響減薄機減薄硅片平整度的因素有哪些?

減薄前將硅片粒結(jié)合在行星齒輪片上的沾片方法是十分重要的。因為當沾片的方法不合理時,減薄后的硅片厚度公差將會隨之增大,所以在沾片前我們要故的首步是將硅片按厚度分好檔,然后把硅片用蠟均勻地沾在行星齒輪片正、反兩面上,需要注意的是同一輪研磨的四塊或五塊行星齒輪片上的硅片厚度-定要均勻,如果硅片不按照厚度去分檔,而任意沾片,想要提高減薄后的硅片厚度公差是相對比較困難的。



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立式減薄機IVG-200S設備規(guī)格

設備規(guī)格:


1)磨盤主軸系統(tǒng)

A) 類型:滾子軸承

B) 電機:AC 伺服電機(3.0kW)

C) 砂輪規(guī)格:Ф200mm

2) 工件盤主軸系統(tǒng)

A)     類型:滾子軸承

B)     電機:齒輪電機(0.75kW)

3) 進給系統(tǒng)

A)     類型:Combination of Ball Serve and LM Guide

B)     電機:微步進給電機

C)     控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback

4) 控制系統(tǒng)(PLC)

A)     制造商:Parker Hannifin Co.

B)     控制器:SX Indexer/Drive

C)     顯示系統(tǒng):EASON 900

5) 輔助設備

A)     電源:220V,50Hz,3相,5kW

B)     氣壓:5.5-6kgf/cm2  (0.55-0.6Mpa)

C)     離心分離機:Sludge Free(SF100)(選配件)

D)     水箱容量:200L

E)     冷凝器:0.5kw

F)     過濾裝置:20μm,10μm Cartridge Filter

6) 尺寸及重量

設備尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)  

設備重量:1,400kg  



立式減薄機IVG-200S設備特點


1.操作簡單

該設備采用PLC控制系統(tǒng),通過簡單的培訓,操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導下,熟練操作設備。當設備出現(xiàn)故障時, 屏幕向?qū)崾境鲥e編碼,易于排除故障。

2.設計安全

該設備的設計處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。

3.保證精度

磨盤的進給采用微米步進電機進給系統(tǒng),保證長時間的加工精度。

4.各輪獨立驅(qū)動

磨盤及工件盤均采用獨立的電機,分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡便。

5.冷卻水循環(huán)使用

冷卻水箱配有雜質(zhì)過濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對環(huán)境的環(huán)境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設備。






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