等離子干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù)。在典型的干法刻蝕工藝過(guò)程中，一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中，在外部能量作用下（如射頻、微波等）形成等離子體，干法刻蝕技術(shù)由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域，憑借在等離子體控制、反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、刻蝕工藝技術(shù)、軟件技術(shù)的積累與創(chuàng)新，北方華創(chuàng)微電子在集成電路、半導(dǎo)體照明、微機(jī)電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域可提供高端裝備及工藝解決方案。形成了對(duì)硅、介質(zhì)、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料的刻蝕能力，其中應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅刻蝕機(jī)已突破14nm技術(shù)，進(jìn)入主流芯片代工廠，其余各類產(chǎn)品也憑借其優(yōu)異的工藝性能成為了客戶的。

金屬腐蝕前處理工藝主要有：感光蝕刻、絲網(wǎng)印刷、貼不干膠，每種工藝都有自己的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，蝕刻加工廠家可根據(jù)自己產(chǎn)品的實(shí)際要求，選擇相對(duì)應(yīng)的工藝。下面我們就來(lái)具體講解這三種工藝的區(qū)別：

①感光蝕刻：顧名思義，感光蝕刻采用的就是曝光顯影的前處理方法，工藝流程：涂布/噴漆→烘烤→曝光→顯影→蝕刻→退膜→成品；感光蝕刻工藝適用于精度要求較高，如：不銹鋼過(guò)濾網(wǎng)蝕刻片、篩網(wǎng)、燈飾、表盤蝕刻、五金工藝品雙面鏤空等，而傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷和貼不干膠，是很難達(dá)到這種要求的，且感光蝕刻前處理菲林膠片可以自己設(shè)計(jì)，成本低，可重復(fù)使用；

②絲網(wǎng)印刷：絲網(wǎng)印刷廣泛用于不銹鋼裝飾板、電梯板，廣告標(biāo)識(shí)標(biāo)牌行業(yè)，適用于一種圖案做一批產(chǎn)品，工藝流程：絲印→晾干/烤干→蝕刻→白化→退膜→洗板烘干→覆膜→成品；絲網(wǎng)印刷蝕刻工藝較為簡(jiǎn)單，蝕刻圖案較為簡(jiǎn)單，精度不高，成本也是的；

③貼不干膠：廣泛用于標(biāo)識(shí)標(biāo)牌廣告行業(yè)，貼不干膠特點(diǎn)就是方便后期上色（噴漆），不干膠圖案可自己在電腦輸出；工藝流程：貼不干膠→蝕刻→清洗→烘干→噴漆上色→高溫烘烤→撕掉不干膠→成品；

蝕刻機(jī)價(jià)格差的體現(xiàn)：    1、恒溫控制：要想一臺(tái)蝕刻機(jī)在正常生產(chǎn)時(shí)達(dá)到持久使用而且不影響產(chǎn)品品質(zhì)的情況下，光靠基本的循環(huán)高壓噴淋是不夠的，因?yàn)槲g刻機(jī)在工作的時(shí)候把動(dòng)能轉(zhuǎn)化成了熱能，大家都知道化學(xué)反應(yīng)對(duì)溫度是有要求的，所以溫度不斷的上升，對(duì)我們腐蝕加工時(shí)有很大影響的，所以設(shè)備里面里面是裝有恒溫控制系統(tǒng)的;    2、搖擺噴淋：另一方面，如果我們做的標(biāo)牌上面是大面積腐蝕的話，我們的蝕刻機(jī)還需要配備搖擺功能，使噴淋裝置在霧狀噴淋的時(shí)候可以來(lái)回?fù)u擺，不至于一直定在同一個(gè)位置噴淋，如果整個(gè)工序下來(lái)對(duì)工件的同一位置噴淋得太集中的話，就會(huì)造成深淺不一，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。    3、三層過(guò)濾：過(guò)濾系統(tǒng)是蝕刻機(jī)不可或缺的一部分，因?yàn)槲g刻機(jī)使用的是固體溶液，或多或少會(huì)有一點(diǎn)固體顆粒物殘?jiān)绻鄙龠^(guò)濾裝置的話，蝕刻機(jī)的噴淋系統(tǒng)是很容易堵塞的，所以常規(guī)的蝕刻機(jī)都會(huì)帶有過(guò)濾系統(tǒng)，過(guò)濾系統(tǒng)分多層過(guò)濾和基本過(guò)濾，精密的過(guò)濾系統(tǒng)是在大水箱、小水箱以及過(guò)濾器都會(huì)裝上過(guò)濾裝置的，基本的過(guò)濾就只會(huì)在大水箱上開孔過(guò)濾引流，效果比起三層過(guò)濾會(huì)差很多。    4、快拆噴盤：使用快拆式噴盤的好處是噴淋裝置上的噴頭都安裝在一個(gè)整體的噴盤之上，如果噴頭堵塞需要清洗的時(shí)候，我們只需要整體拆卸噴盤即可，無(wú)需單個(gè)拆卸清洗安裝，省去了大量的時(shí)間。    5、.機(jī)身材料：針對(duì)五金深腐蝕加工采用PP塑料板材更耐高溫，不易老化使用壽命長(zhǎng)，PP板材本身是耐高溫的工程塑料，且焊接的難度大，造成的人工量也較大，有些廠家為了節(jié)省材料成本和人工成本用其他材料替代。

　關(guān)于把蝕刻機(jī)技術(shù)工藝用于金屬上，早的文字記載是出現(xiàn)在15實(shí)際的一份英國(guó)手抄本上面，它描述是一種用鹽、活性炭和醋所配置的蝕刻機(jī)技術(shù)液，和一種亞麻仁油組成的涂層做防護(hù)保護(hù)層。加工時(shí)，先把防蝕刻機(jī)技術(shù)材料按照成品工件樣式涂上保護(hù)區(qū)圖案，區(qū)域的金屬就被酸所腐蝕咬掉。在往后就是用先進(jìn)一點(diǎn)的石蠟和天然樹脂做防護(hù)層。使用這種方法時(shí)，先要在整個(gè)材料上涂上石蠟，然后把需要雕刻腐蝕的地方的石蠟刮下來(lái)，這就是臺(tái)階式化學(xué)腐蝕或外形腐蝕加工的起源。

　　用一種液體去消除一種或多種金屬材料的可能性，首先取決于這種化合物的效能，也就是說(shuō)這種化合物的腐蝕性。只有這種化合物的腐蝕性足夠強(qiáng)才有可能被利用成做蝕刻機(jī)技術(shù)的化學(xué)原料。從這也可知，化學(xué)腐蝕的重大發(fā)展都是由于化學(xué)蝕刻機(jī)技術(shù)液的發(fā)展所取得的直接成果。此外第二個(gè)決定性作用的是防腐材料的發(fā)現(xiàn)和發(fā)展，因?yàn)檫@控制著我們對(duì)同一金屬上了有針對(duì)性的局部腐蝕才能真正生產(chǎn)加工出我們所需要的產(chǎn)品，因此防護(hù)材料是相當(dāng)重要的。自從有了腐蝕加工技術(shù)以來(lái)，防護(hù)技術(shù)及腐蝕工藝方法一直都是保證加工質(zhì)量的管件。。