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有機(jī)廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)
有機(jī)廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是利用有機(jī)氣體水溶性的特性,且添加次或等氧化劑,將有機(jī)廢氣中的有機(jī)氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加,且易形成二次污染,故吸收法未得到普遍應(yīng)用。生物處理法是利用微生物的代謝作用,將污染物分解成無害物質(zhì)。生物處理法運(yùn)行費(fèi)用低,二次污染小,但處理?xiàng)l件嚴(yán)、持續(xù)時(shí)間長,占地面積大,故實(shí)際應(yīng)用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O,根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度~450攝氏度觸媒焚化二類,因觸媒式易造成觸媒毒化,故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑,將廢氣中的有機(jī)氣體分子分離,而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)的特點(diǎn)
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法也是目前被集成電路企業(yè)所廣泛采用的有機(jī)氣體處理方法。有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪,轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附了廢氣中大部份有機(jī)成分,而使廢氣中有機(jī)成分的含量大幅低降低而成為較干凈的空氣,一部分較干凈的氣體排放至大氣中,而另一部份氣體則進(jìn)入再生區(qū),經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機(jī)成分,這樣可降低后續(xù)處理程序的操作成本。利用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將大風(fēng)量低濃度的廢氣濃縮為小風(fēng)量高濃度,再以直熱式(燃?xì)馐椒倩姆绞?,將有機(jī)成分轉(zhuǎn)化為無害的CO:和水,以達(dá)到去除有機(jī)物的目的。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點(diǎn)是可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)吸附和解析,不存在吸附劑的飽和問題,適當(dāng)?shù)恼{(diào)整轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速,再生溫度、風(fēng)量等,可得到相當(dāng)良好的效果,對(duì)于有機(jī)成分的去除率在90%左右,濃縮倍數(shù)可達(dá)5-20。
催化劑的物質(zhì)是什么?
催化劑的物質(zhì)是什么?樹脂、高沸點(diǎn)聚合物、焦油、重金屬(Hg、Pb、Sn、Zn),有機(jī)磷,磷化物,有機(jī)硅,及含氟有機(jī)物等物質(zhì)。不過催化劑抗性能與催化劑性能有關(guān)?! ?/p>
含Cl和含S的有機(jī)物會(huì)能用催化燃燒技術(shù)嗎? 取決于催化劑性能,不過處理后的尾氣需二次處理HCl、SOx等物質(zhì)。
催化劑的熱穩(wěn)定性由于催化燃燒是強(qiáng)放熱反應(yīng),當(dāng)VOCs濃度較高時(shí),催化劑床層升溫明顯,因此要求催化劑有比較高的熱穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)室是測(cè)試高溫焙燒催化劑的活性與新鮮催化劑活性的下降幅度來表征催化劑的熱穩(wěn)定性的。