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發(fā)布時(shí)間:2020-10-31 06:49  






流量控制器的原理是什么?

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用戶在訂貨時(shí),需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤,造成嚴(yán)重?fù)p失。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

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使用流量控制器害怕什么?

怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計(jì)會(huì)堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過濾器;

怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì)造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;

怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理;

怕在使用強(qiáng)腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴(yán)重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個(gè)用戶都是重要的。

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流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào);  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。流量控制器特點(diǎn)1、穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化2、寬量程比,可達(dá)100:13、高達(dá)0。



流量控制器特點(diǎn)

1、 穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比,可達(dá)100:1

3、 高達(dá)0.1%的重復(fù)性和1.0級(jí)的精度等級(jí)

4、 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

5、 內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準(zhǔn)

6、 標(biāo)配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板

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