流量控制器基本原理

通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。任意設定值百分比變化區(qū)域不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區(qū)間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

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使用流量控制器害怕什么?

怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;

怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;

怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進行干燥處理;

怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。

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如何提高流量控制器的準確度？

提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為：

1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現在實際使用流量點的一定范圍內，該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

2.把好氣體質量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。

4.把好氣體質量流量控制器的投用關。

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