真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內(nèi)進行，保護操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、專利技術的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運行清晰明了，實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。

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真空箱式氦檢漏設備 充氣柜氦檢漏設備  環(huán)網(wǎng)柜檢漏設備

以下內(nèi)容由科創(chuàng)真空為您提供服務，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

系統(tǒng)嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護性。真空箱式氦檢漏設備適用對空腔電力工件進行氦質(zhì)譜檢漏SF6充注，首先對工件充注一定壓強的干燥壓縮空氣或氮氣，保壓判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性檢測；然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6。全電腦控制，全自動檢測，排除操作者人為因素導致的誤判。自動判斷，聲光提示。自動判斷，并對應放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）9。

本設備嚴格按照“用戶技術要求”設計制造。

本設備適用對空腔電力工件進行氦質(zhì)譜檢漏、SF6及氮氣充注，首先對工件進行真空內(nèi)外壓強抽空，真空法判大漏。大漏合格后，對工件和真空箱抽真空，被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質(zhì)譜氣密性微檢漏檢測；然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用、充注SF6及氮氣工作氣體。通過本裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格產(chǎn)品?；炯夹g參數(shù)編輯真空箱數(shù)量：根據(jù)實際需要真空箱容積：根據(jù)實際需要示漏氦氣壓力：根據(jù)實際需要耐壓試驗壓力：根據(jù)實際需要檢漏生產(chǎn)節(jié)拍：根據(jù)實際需要氦氣回收率：≧98%‘’想了解更多關于氦檢漏設備的相關資訊，請持續(xù)關注本公司。

主要技術參數(shù)及要求：

1、 真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00 mm

充氦氣壓力：0.05Mpa（可調(diào)）

2、 工作節(jié)拍：＜40分鐘/件

3、 箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個工件接口。小件2個工作接口。

4、 氦氣回收率：95%-98%

5、 可檢漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(報警漏率設置1×10-7Pam3/S時，應可檢出)

6、 保壓檢測時間：（1-600S可調(diào)）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱檢漏真空≤20 Pa

9、系統(tǒng)自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱門開關方式：自動

真空箱體加送料車。料車尺寸高度需甲方確認。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。機械系統(tǒng)主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。上位機采用工控機，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運行狀態(tài)集中管理。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。